[实用新型]用于处理四氯化硅氢化副产物的设备有效
| 申请号： | 201220173575.X | 申请日： | 2012-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN202988744U | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 张升学;严大洲;肖荣晖;毋克力;汤传斌;杨永亮;万烨 | 申请（专利权）人： | 中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100038*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 处理 氯化 氢化 副产物 设备 | ||
1.一种用于处理四氯化硅氢化副产物的设备，其特征在于，包括：
气固分离装置，所述气固分离装置用于对四氯化硅氢化副产物进行气固分离；以及
热交换装置，所述热交换装置与所述气固分离装置相连。
2.根据权利要求1所述的用于处理四氯化硅氢化副产物的设备，其特征在于，进一步包括：
氢化反应装置，所述氢化反应装置用于对四氯化硅进行氢化处理；以及
固体颗粒返回管路，所述固体颗粒返回管路分别与所述气固分离装置和氢化反应装置相连。
3.根据权利要求1所述的用于处理四氯化硅氢化副产物的设备，其特征在于，所述气固分离装置为旋风分离器。
4.根据权利要求1所述的用于处理四氯化硅氢化副产物的设备，其特征在于，进一步包括陶瓷过滤器，所述陶瓷过滤器分别与所述气固分离装置和热交换装置相连。
5.根据权利要求4所述的用于处理四氯化硅氢化副产物的设备，其特征在于，所述陶瓷过滤器的孔径为600-1500目。
6.根据权利要求1所述的用于处理四氯化硅氢化副产物的设备，其特征在于，进一步包括：冷凝装置，所述冷凝装置与所述热交换装置相连。
7.根据权利要求1所述的用于处理四氯化硅氢化副产物的设备，其特征在于，进一步包括加热装置，所述加热装置与所述氢化反应装置相连。
8.根据权利要求7所述的用于处理四氯化硅氢化副产物的设备，其特征在于，进一步包括：
第二气体混合物输送管道，所述第二气体混合物输送管道分别与所述热交换装置和所述加热装置相连。
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