[实用新型]一种太阳能硅片表面线痕测试仪有效
| 申请号： | 201220176801.X | 申请日： | 2012-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN202661098U | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 沈彪;李向清;胡德良 | 申请（专利权）人： | 江苏爱多光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/00 | 分类号： | G01D21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214423 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能 硅片 表面 测试仪 | ||
【权利要求书】：
1.一种太阳能硅片表面线痕测试仪，其特征在于，包括工作台，工作台上设有竖直的立柱，立柱轨道连接有可沿立柱竖直上下移动的驱动器，驱动器还轨道连接有可沿驱动器水平移动的水平杆，水平杆的端部固定有探针，探针端部设有距离传感器，工作台上还设置有用于放置硅片的陶瓷高精密平台，驱动器和距离传感器连接至可编程控制器。
2.根据权利要求1所述的太阳能硅片表面线痕测试仪，其特征在于，所述可编程控制器还连接有显示器。
3.根据权利要求1所述的太阳能硅片表面线痕测试仪，其特征在于，所述可编程控制器还连接有信息输入设备。
4.根据权利要求1所述的太阳能硅片表面线痕测试仪，其特征在于，所述可编程控制器还连接有报警装置。
5.根据权利要求1所述的太阳能硅片表面线痕测试仪，其特征在于，所述可编程控制器还连接有数据存储装置。
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