[实用新型]一种硅片切割液回收过程中的脱水系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅片切割液回收过程中的脱水系统。

背景技术

目前，在硅片切割液回收过程中需要经过脱水工艺，该工艺是将储罐中的硅片切割液（温度在30℃左右）送入脱水釜中，经过升温加热进行脱水，然后将经过脱水的硅片切割液（温度在115℃左右）打入降温釜中降温（温度在40℃左右）后再进行包装；这种方法不仅冷却时间需要3～4小时，还需要消耗电能，使用大量的循环水。

发明内容

本实用新型的目的是提供提高脱水进料温度，缩短脱水时间，降低能耗，减少循环水用量和冷却时间的一种硅片切割液回收过程中的脱水系统。

本实用新型采取的技术方案是：一种硅片切割液回收过程中的脱水系统，其特征在于它包括脱水前液储罐、脱水釜、板式换热器和降温釜，脱水前液储罐通过管路经过板式换热器循环连接后再与脱水釜连接；脱水釜通过管路连接板式换热器后再与降温釜连接。

采用本实用新型，既利用脱水前的硅片切割液给脱水后的硅片切割液进行了冷却降温，又利用脱水后的硅片切割液对脱水前的硅片切割液进行了加热升温；经过实际使用对比，使原来放到降温釜的脱水后液的温度从80℃左右直降到60℃以下，原来的脱水前液的温度从30℃左右升高到55℃以上，既缩短了脱水后液的降温时间和冷却循环水的使用，又大大减少脱水液升温脱水的时间和蒸汽的消耗。

附图说明

图1是本实用新型示意图。

图中序号表示：脱水釜1、管路2、板式换热器3、脱水前液储罐4和降温釜5。

具体实施方式

下面结合具体的实施例对本实用新型作进一步说明。

参照图1，该硅片切割液回收过程中的脱水系统包括脱水前液储罐4、脱水釜1、板式换热器3和降温釜5，脱水前液储罐4经过管路连接通过板式换热器3后再连接到脱水前液储罐4，脱水釜1通过管路2连接板式换热器3后再与降温釜5连接。这样，既给脱水后的硅片切割液进行了冷却降温，又对脱水前的硅片切割液进行了加热升温；经过实际使用对比，使原来放到降温釜的脱水后液的温度从80℃左右直降到60℃以下，原来的脱水前液的温度从30℃左右升高到55℃以上，既缩短了脱水后液的降温时间和冷却循环水的使用，又大大减少脱水液升温脱水的时间和蒸汽的消耗。