[实用新型]一种气液混合供料精确控制装置

权利要求书

1.一种气液混合供料精确控制装置，其特征在于，该装置液体原料罐(1)、惰性气体储气罐(2)、气体原料罐(3)、截止阀一(4)、减压阀(5)、调压阀(6)、进气管道(7)、气体原料进料管道(8)、液体原料进料管道(9)、质量流量计(10)、气体流量计(11)、油浴器一(12)、蒸发混合罐(13)、连接管道(14)、油浴器二(15)、混合气体缓冲罐(16)、截止阀二(17)、混合气体出料管道(18)；

惰性气体储气罐(2)依次与减压阀(5)和调压阀(6)相连，然后由进气管道(7)与液体原料罐(1)连接，液体原料罐(1)由液体原料进料管道(9)经质量流量计(10)与蒸发混合罐(13)连通；同时气体原料罐(3)由气体原料进料管道(8)经气体流量计(11)与蒸发混合罐(13)连通，蒸发混合罐(13)置于油浴器一(12)中，然后蒸发混合罐(13)由连接管道(14)与混合气体缓冲罐(16)连通，混合气体缓冲罐(16)放在油浴器二(15)中，混合气体缓冲罐(16)连接有混合气体出料管道(18)，混合气体出料管道(18)上装有截止阀二(17)。