[实用新型]压力传感器感应头有效
| 申请号： | 201220187821.7 | 申请日： | 2012-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN202614431U | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 朱荣惠;芦婧雯 | 申请（专利权）人： | 无锡永阳电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20 |
| 代理公司： | 宜兴市天宇知识产权事务所(普通合伙) 32208 | 代理人： | 蔡凤苞 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压力传感器 感应 | ||
【权利要求书】：
1.压力传感器感应头，包括金属底座和传感器芯片(2)，所述金属底座为管状，其一端有用于构成金属膜片(3)的封底，其另一端留有端口(5)；所述传感器芯片(2)含有硅片(201)，硅片(201)上集成有四片应变片(6)，该四片应变片通过金属化沉积连成惠斯登电桥；其特征在于所述传感器芯片(2)采用玻璃微熔方式粘贴在所述金属膜片(3)上。
2.根据权利要求1所述的压力传感器感应头，其特征在于所述四片应变片(6)处在硅片(201)的四周。
3.根据权利要求1所述的压力传感器感应头，其特征在于所述金属膜片(3)的外表面为粗糙面。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的压力传感器感应头，其特征在于所述金属底座是不锈钢底座。
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