[实用新型]一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置有效
申请号: | 201220188314.5 | 申请日: | 2012-04-28 |
公开(公告)号: | CN202654903U | 公开(公告)日: | 2013-01-09 |
发明(设计)人: | 罗邦彦 | 申请(专利权)人: | 四川瑞能硅材料有限公司 |
主分类号: | B01D53/04 | 分类号: | B01D53/04;C01B3/56 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 詹永斌;钱成岑 |
地址: | 620041 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 尾气 回收 系统 吸附 并网 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种吸附柱并网装置,特别是一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置,属于多晶硅化工技术领域。
背景技术
国内外的多晶硅生产主要采用“改良西门子法”,该方法中的CDI工艺是比较成熟的多晶硅生产尾气回收工艺,其工艺步骤大概为:尾气先经过冷凝将氯硅烷、氯化氢和氢气分离开后,液态的氯硅烷送精馏工序,气态的氯化氢、氢气经过吸收塔、解析塔被分离开,其中的氯化氢送至合成工序,氢气再经吸附柱除去残余的氯硅烷和氯化氢后继续作为生产原料使用。
由于多晶硅还原系统中的尾气回收和氢化系统中的尾气回收是两套独立的系统,但是由于还原系统和氢化系统输送至尾气回收工序的物料具有相近性,所以在其中一套尾气回收系统出现动力设备(如压缩机和螺杆机等)工况意外下,则可以用另外一套正常运行的回收系统处理来同时处理还原系统和氢化系统的尾气以维持生产。但是由于单套系统处理能力有限,此时还原系统和氢化系统必须减量运行,但即使在降低生产负荷情况下,单套吸附柱净化氢气也不能保证回收氢气质量,而回收氢气质量作为影响多晶硅质量的关键因素之一,这将直接导致产品质量及产量明显下滑。在尾气回收系统中,吸附柱对回收的氢气质量有较大的影响。
发明内容
本实用新型的发明目的在于:针对上述存在的问题,提供一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置,能够利用因故障停车的尾气回收系统中可以正常运行的吸附柱来进行回收氢气的吸附,有效的降低正常运行的尾气回收系统中吸附柱的负荷,提升尾气处理量和回收氢气质量,同时,在正常工况下也可以对不同系统(如还原系统和氢化系统)之间的吸附负荷做一个再分配和优化,提升回收氢吸附质量,从而达到提高产品质量的目的。
本实用新型采用的技术方案如下:
一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置,包括回收系统Ⅰ和回收系统Ⅱ,所述回收系统Ⅰ包含有换热器Ⅰ、吸附柱Ⅰ和之间连接的管道Ⅰ,所述回收系统Ⅱ包含有换热器Ⅱ、吸附柱Ⅱ和之间连接的管道Ⅱ;所述管道Ⅰ和管道Ⅱ通过设置带有阀门Ⅰ的管道Ⅲ连通;所述管道Ⅰ上设置阀门Ⅱ,所述阀门Ⅱ位于换热器Ⅰ和管道Ⅲ之间;所述管道Ⅱ上设置阀门Ⅴ,所述阀门Ⅴ位于换热器Ⅱ和管道Ⅲ之间。
作为优选方式,所述管道Ⅲ为不锈钢钢管。
作为优选方式,所述管道Ⅰ上设置阀门Ⅲ,所述阀门Ⅲ位于管道Ⅲ和吸附柱Ⅰ之间。
作为优选方式,所述管道Ⅱ上设置阀门Ⅵ,所述阀门Ⅵ位于管道Ⅲ和吸附柱Ⅱ之间。
作为优选方式,所述阀门Ⅰ、阀门Ⅱ、阀门Ⅲ、阀门Ⅴ和阀门Ⅵ均为球阀。
作为优选方式,所述阀门Ⅰ、阀门Ⅱ、阀门Ⅲ、阀门Ⅴ和阀门Ⅵ均为不锈钢球阀。
作为优选方式,所述阀门Ⅰ与管道Ⅲ采用法兰连接;所述阀门Ⅱ和阀门Ⅲ均与管道Ⅰ采用法兰连接;所述阀门Ⅴ和阀门Ⅵ均与管道Ⅱ采用法兰连接。
回收系统中的回收氢气从换热器输送至吸附柱。带有阀门Ⅰ的管道Ⅲ为氢气进入不同回收系统的吸附柱提供了可控制的通道;通过阀门Ⅱ、阀门Ⅴ和可以控制氢气进入吸附柱而不进入其他的设备(如换热器);设置阀门Ⅲ和阀门Ⅵ则可以实现选择性的单独或同时使用吸附柱Ⅰ或吸附柱Ⅱ,使得操作方案更加灵活;管道Ⅲ、阀门Ⅰ、阀门Ⅱ、阀门Ⅲ、阀门Ⅴ和阀门Ⅵ,选用不锈钢管道和不锈钢阀门,能有效避免因氢气中的氯化氢的强腐蚀性而导致管道腐蚀和因腐蚀带来金属杂质导致氢气质量的降低;阀门Ⅰ、阀门Ⅱ、阀门Ⅲ、阀门Ⅴ和阀门Ⅵ全部采用球阀提高了操作的可靠性;阀门和管道间采用法兰连接提高了灵活性,便于维护和更换。
由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:
本实用新型的一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置,结构简单,设计巧妙,成本低廉,实现了能够利用因故障停车的尾气回收系统中可以正常运行的吸附柱来进行回收氢气的吸附,有效的降低正常运行的尾气回收系统中吸附柱的负荷,提升尾气处理量和回收氢气质量,同时,在正常工况下也可以对回收系统Ⅰ和回收系统Ⅱ的吸附负荷做一个再分配和优化,提升回收氢吸附质量,从而达到提高产品质量的目的。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图。
图中标记:1-换热器Ⅰ、2-吸附柱Ⅰ、3-管道Ⅰ、4-换热器Ⅱ、5-吸附柱Ⅱ、6-管道Ⅱ、7-管道Ⅲ、8-阀门Ⅰ、9-阀门Ⅱ、10-阀门Ⅲ、11-阀门Ⅴ、12-阀门Ⅵ。
具体实施方式
下面结合附图,对本实用新型作详细的说明。
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