[实用新型]一种基于静电刚度的谐振式微加速度计

权利要求书

1.一种基于静电刚度的谐振式微加速度计，包括单晶硅层和玻璃基座层，加速度计机械结构刻蚀在单晶硅层上，其特征在于：所述加速度计机械结构包括：两个质量块系统、两个驱动梳齿对、音叉谐振子；其中：所述音叉谐振子水平设置在单晶硅层上，两个驱动梳齿对分别对称布置在音叉谐振子的两侧，所述两个质量块系统分别通过齿槽与两个驱动梳齿对连接；音叉谐振子与任一质量块系统构成一个检测电容，音叉谐振子与任一驱动梳齿对构成一个驱动电容。

2.根据权利要求1所述的一种基于静电刚度的谐振式微加速度计，其特征在于所述质量块系统包括由折叠梁支撑的质量块、倾斜梳齿，所述倾斜梳齿均匀附着在质量块上，所述质量块上有均匀分布的阻尼孔。

3.根据权利要求2所述的一种基于静电刚度的谐振式微加速度计，其特征在于所述驱动梳齿对、倾斜梳齿都是均匀分布的梳齿，梳齿与梳齿间有对应的U形槽。

4.根据权利要求1所述的一种基于静电刚度的谐振式微加速度计，其特征在于所述音叉谐振子包括两个平行设置的音叉梁，音叉梁的两端通过固定端子连在一起。