[实用新型]石英板舟

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造装置，特别是涉及一种用于在扩散炉中装载硅片进行高温扩散和氧化用的石英板舟。

背景技术

扩散工艺是晶体硅太阳能电池生产过程中的一道关键工序，其需要使用一种硅片承载装置用于装载硅片，然后再将装有硅片的硅片承载装置送入扩散炉内进行集中扩散，石英因其材料纯度高、耐高温、耐酸、耐碱而成为制作这种承载装置材料的首选，用石英材料做成的硅片承载装置成为石英舟。

在现有已知的石英舟中，常用的石英棒舟（如图4-6）底部由两根平行的开槽石英棒构成，没有底板，气体流通性好，扩散均匀，但其底部开槽石英棒承受的压强过大，很容易断裂损坏，导致整个石英舟使用寿命短，而石英舟的造价又较高，损失较大，中国专利申请号为2010105237104给出的一种面接触式石英舟，其在两根下石英分隔档杆（即开槽石英棒）的下方固定有两根以上的支撑杆，以面接触取代点接触，减小压强，避免支撑杆断裂，但支撑杆与碳化浆的接触面积虽然增大，压强减小，但由于支撑杆与下石英分隔档杆交叉设置，其实际接触面依旧很小，使得下石英分隔档杆底部仍需承受较大的压强，石英分隔档杆容易断裂，并不能从根本上解决问题；也有选择使用石英板舟的，其底部有支撑板，但传统的石英板舟（如图7-9）结构不合理，支撑板与开槽石英棒构成的空间相对封闭，尤其是在装载硅片以后，舟底的气体无法很好流通，会导致扩散不均，影响良品率。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单，坚固耐用，扩散性能好的石英板舟。

为解决上述技术问题，本发明提供一种石英板舟，包括开槽石英棒、挡板和把手，所述开槽石英棒两端与挡板相连，其特征在于：所述开槽石英棒上设有至少一个透气孔洞，所述开槽石英棒有两根，在水平平面内平行设置，所述开槽石英棒底部设有支撑板，结构简单，开槽石英棒在支撑板的支撑下不易断裂，透气孔洞提高了气体的流动性，使扩散更均匀。

前述的石英舟板，其特征在于，所述开槽石英棒两端各设有一个透气孔洞。

本发明所达到的有益效果:

1、在开槽石英棒上开设透气孔洞，当扩散工艺进行时，气体可以通过透气孔洞在石英板舟外部和内部自由流通，扩散均匀，提高良品率。

2、在开槽石英棒底部设置支撑板，支撑板结构厚实稳固，其与开槽石英棒的底部面接触，且接触面积大，开槽石英棒底部所承受的压强小，且支撑更稳定。

附图说明

图1为本发明的正视图；

图2为本发明的俯视图；

图3为本发明的右视图；

图4为传统板舟的正视图；

图5为传统板舟的俯视图；

图6为传统板舟的右视图；

图7为传统棒舟的正视图；

图8为传统棒舟的俯视图；

图9为传统棒舟的右视图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步的说明。

如图1-3所示，石英板舟包括开槽石英棒1、挡板2、把手3、透气孔洞4、支撑板5，支撑板5做为底座设置于整个结构的最底部，其上部设置有开槽石英棒1、挡板、把手，开槽石英棒有两根，平行设置在支撑板上，每根开槽石英棒的两端均开设有一个用于空气流通的透气孔洞，改透气孔洞在水平方向上贯穿开槽石英棒的两侧，开槽石英棒的两端与挡板连接，由两侧挡板对开槽石英棒进行夹持固定，并可防止来自两侧的污染，其两侧挡板的外侧连接有方便操作的把手。

本发明主要用于在扩散炉中装载硅片进行高温扩散和氧化，结构简单，坚固耐用，扩散性能好。

以上实施例不以任何方式限定本发明，凡是对以上实施例以等效变换方式做出的其它改进与应用，都属于本发明的保护范围。