[实用新型]金刚石线多线切割机线管理装置有效
申请号: | 201220198023.4 | 申请日: | 2012-05-06 |
公开(公告)号: | CN202572672U | 公开(公告)日: | 2012-12-05 |
发明(设计)人: | 于景;陈雷;李毕武;曾荣;陈杰 | 申请(专利权)人: | 江西金葵能源科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
代理公司: | 萍乡益源专利事务所 36119 | 代理人: | 张放强 |
地址: | 337000 江西省萍*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金刚石 线多线 切割机 线管 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及管理装置,尤其是涉及金刚石线多线切割机线管理装置。
背景技术
金刚石线多线切割机是通过电镀、树脂结合剂固结等方式将金刚石颗粒固定在基线上制成金刚石线,金刚石线通过导轮的牵引高速往复运动形成切割作用。此种设备可实现硅片的快速切割,速度提高2-3倍;损耗小,硅粉可回收;硅片表面一致性好;不需使用碳化硅,无污染。目前金刚石线多线切割机的线管理(含走线方法及具体结构)装置,通常是金刚石线从线管理区放出,经过布线轮到张力轮进入线网切割区,从线网切割区出来后回到线管理区,经过张力轮和布线轮再回到收线轮。由于金刚石线切割机走线速度快,精度要求高,金刚石线走线过程中一旦扭曲变形,可能导致断线,造成金刚石线和工件报废,损失较大。目前出现的金刚石线切割机所用过线轮在18只以上,且进入槽轮前和从槽轮出来后用于走线换向的过线轮结构设置不合理,走线换向时容易发现断线,大大影响了切割效率和切片质量。
实用新型内容
针对上述现有技术中金刚石线切割机线管理装置中过线轮设置不合理,有可能导致金刚石线走线过程中扭曲变形,造成金刚石线断线的问题,本实用新型的提供了一种布线规整合理,控制精度更高、金刚石线运行平稳、不易断线的金刚石线多线切割机线管理装置。
本实用新型要解决的技术问题所采取的技术方案是:所述金刚石线多线切割机线管理装置包括放线轮、收线轮和过线轮,所述过线轮不超过十七只,所述过线轮包括两只排线轮、布线轮和两只张力轮,所述张力轮上设置有金刚石线线弓大小可调节的调节装置,所述布线轮包括立式布线轮、正面布线轮(3)和卧式布线轮,所述排线轮、张力轮、放线轮和收线轮正面设置,所述立式布线轮分成三组,其中两组每组两只、一组一只,一组两只上下对称设置在放线轮一侧,另一组两只上下对称设置在收线轮一侧,在立式布线轮与放线轮和收线轮之间分别设置有排线轮,所述金刚石线从放线轮输出,经排线轮和一组两只立式布线轮后,绕正面布线轮和张力轮,再经一只立式布线轮和卧式布线轮以及正面布线轮进入槽轮旋转;所述金刚石线从槽轮出来,经正面布线轮和卧式布线轮后,绕张力轮和正面布线轮,再绕另一组两只立式布线轮和排线轮进入收线轮。
本实用新型由于减少了布线轮数量,改变了进入槽轮前用于走线换向的布线轮位置,拉开了布线轮之间的间距,减少了金刚石线拐弯角度和次数,使金刚石线在走线换向时不会发生扭曲变形,金刚石线运行更平稳、大大降低了金刚石线断线概率,从而提高了切割硅片质量和切片效率,降低了切割成本。
附图说明
图1是本实用新型所述管理装置的平面布置示意图,
图2是图1的A向结构布置示意图。
在图中,1、排线轮 2、立式布线轮 3、正面布线轮 4、张力轮 5、调节装置 6、金刚石线 7、槽轮 8、放线轮 9、收线轮 10、壁板 11、卧式布线轮。
具体实施方式
在图1和图2中,金刚石线多线切割机线管理装置包括放线轮8、收线轮9和过线轮,本实施例所述过线轮为十七只,所述过线轮包括两只排线轮1、布线轮和两只张力轮4(在其它实施例中,当过线轮减少时,其中排线轮和张力轮数量不变,布线轮相应减少),所述张力轮上设置有可使金刚石线线弓大小调节的调节装置5,所述布线轮包括五只立式布线轮2、六只正面布线轮3和二只卧式布线轮11,其中四只立式布线轮分成三组、其中两组每组为两只、一组一只,一组两只上下对称设置在放线轮一侧,另一组两只上下对称设置在收线轮一侧。所述立式布线轮是指轮子的轴中心线左右呈水平设置且侧面为正面(主视面),所述正面布线轮是指轮子轴中心线里外呈水平设置且正面为圆面;所述卧式布线轮是指轮子轴中心线上下呈垂直设置且正面为侧面;在立式布线轮与放线轮和收线轮之间分别设置有排线轮1,一组立式布线轮用于放线,另一组立式布线轮用于收线,所述排线轮、放线轮和收线轮正面设置(是指轮子轴中心线里外呈水平设置且正面为圆面)在壁板10上并由伺服电机和传动装置(图中未画出)驱动,所述伺服电机和传动装置垂直设置在底座上,所述金刚石线6从放线轮8输出,经一只排线轮1和一组两只立式布线轮2绕两只正面布线轮和张力轮旋转,张力轮位于正面布线轮之间,再经相啮合一只卧式布线轮11和一只立式布线轮2换向后,在该卧式布线轮与其中一只正面布线轮之间金刚石线呈水平运行放线,金刚石线再呈垂直绕一只位于立式布线轮下方的正面布线轮放线进入槽轮7并绕槽轮旋转进行硅棒切片;图中所标箭头表示金刚石线运行方向,所述金刚石线开始从槽轮出来,经一只正面布线轮和卧式布线轮11换向后,绕张力轮和两只正面布线轮,在该卧式布线轮11与正面布线轮之间金刚石线呈水平运行收线,再绕另一组立式布线轮和排线轮最后进入收线轮9收线,放线轮8、收线轮9和布线轮、张力轮、调节装置和传动装置共同构成金刚石线布线管理区。
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