[实用新型]流体过滤装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种过滤装置，特别是涉及一种用于过滤流体中的杂质的流体过滤装置。

背景技术

在半导体制程中，有许多制程流体是能够重复使用的，例如光阻剂或制程气体，但是在回收重复使用前，得先将该制程流体中的颗粒杂质及/或悬浮污染物滤除，目前都是在一个回收系统中安装一个过滤装置，通过将制程流体通入该过滤装置进行过滤，以除去颗粒杂质及/或悬浮污染物，使过滤后的制程流体能够再重复使用。而该过滤装置使用一段时间后，就得要拆离该回收系统，以更换其内部所使用的过滤模组，但是一般的过滤装置拆离该回收系统后，其用于注入待过滤流体的注入孔与用于排出过滤后流体的排出孔会呈开放外露状，所以在拆取移动该过滤装置时，常会因为过滤装置倾斜或倾倒，而发生内部残留的制程流体外漏或气体外泄的情况，进而可能污染周遭环境或对操作者健康造成危害。因此，对于目前的过滤装置设计仍有改良的空间。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种能够于拆装时有效防止流体外漏的流体过滤装置。

本实用新型流体过滤装置，适用于安装在一个回收系统以过滤流体，并包含一个中空的外壳、一个安装于该外壳中的过滤模组，及两个分别安装于该外壳的防漏阀。该外壳内部界定出一个过滤空间，且具有分别连通该过滤空间的一个注入孔与一个排出孔。该过滤模组是安装于该过滤空间内，并能够过滤自该注入孔注入该过滤空间中的流体，且使过滤后的流体自该排出孔排出。所述防漏阀是分别安装固定于该外壳的注入孔与该排出孔中，并分别安装于所述回收系统，且能够分别被回收系统驱动开启而分别将流体注入该注入孔与排出该排出孔内的流体，并能够于拆离所述回收系统时分别自动关闭而封闭注入孔与排出孔。

本实用新型的流体过滤装置，所述防漏阀分别包括一个连通插装于对应的注入孔或排出孔中的管状的阀壳体、一个插装于该阀壳体中且能够在一个封闭该阀壳体的封闭位置与一个导通该阀壳体的开启位置间切换的连通轴，及一个安装于该阀壳体中且恒将该连通轴弹性顶推向该封闭位置的弹性件，且该连通轴于该开启位置时，是与该阀壳体连通。

本实用新型的流体过滤装置，该阀壳体具有一个连通于对应的注入孔或排出孔中的管状插接段、一个自该插接段同轴往外突伸出外壳外的管状的安装段，及一个自该安装段同轴往外突伸且内径小于该安装段内径的管状的外接段，该连通轴具有一个能够轴向位移地设置于该安装段内且于该封闭位置时是封闭阻隔于该安装段与外接段间的阀片部，及一个自该阀片部同轴往外贯穿该外接段且能够被轴向推移而驱使该阀片部自该封闭位置移向该开启位置的轴管段，该轴管段具有至少一个径向贯穿，且于其位于该开启位置时会与该安装段连通的连通孔，该弹性件是恒将该阀片部弹性顶推向该封闭位置地安装于该安装段中。

本实用新型的流体过滤装置，该外壳还具有一个与该过滤空间连通且能够供该过滤模组自通过的流体中滤出的气体排出的排气孔，该过滤装置还包含另一个安装于该排气孔中且能够被开启而排出该排气孔的气体的泄气阀。

本实用新型的流体过滤装置，该外壳包括一个具有一个朝外开口的壳本体，及一个盖封该壳本体开口地安装于该壳本体并与该壳本体相配合界定出该过滤空间的盖体，该注入孔与排出孔是穿设于该盖体。

本实用新型的流体过滤装置，该外壳包括一个具有一个朝外开口的壳本体，及一个盖封该壳本体开口地安装于该壳本体并与该壳本体相配合界定出该过滤空间的盖体，该注入孔是穿设于该盖体，该排出孔是穿设于该壳本体。

本实用新型的有益效果在于：通过安装在该注入孔与排出孔的防漏阀会在该流体过滤装置拆离回收系统进行时，自动封闭该注入孔与排出孔的结构设计，能够大幅提高流体过滤装置的使用方便性。

附图说明

图1是本实用新型流体过滤装置的一个较佳实施例的立体分解图；

图2是该较佳实施例的侧视剖面图；

图3是该较佳实施例的局部放大剖视图，说明一个防漏阀位于开启位置时的情况；

图4是本实用新型流体过滤装置的另一个实施态样的侧视剖面图。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。

如图1、2、3所示，本实用新型流体过滤装置的较佳实施例，适用于安装在一个回收系统（图未示），以对液体、气体等流体（图未示）进行过滤处理，例如滤除液体中的颗粒杂质与污染气体等，或者是滤除气体中的悬浮污染物等，但是实施时，滤除的物质不以上述种类为限。在以下实施例中，是以过滤液体为例进行说明。