[实用新型]复制光栅的分离夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及复制平面光栅的分离技术，具体涉及一种复制光栅的分离夹具。 

背景技术

分离工艺是复制平面光栅的最后一道工序，对复制光栅的质量和性能有极大的影响。如果分离时用力不均匀或者方向掌握的不好，会造成光栅表面损伤以及分辨率和衍射效率等重要参数下降。若垂直于光栅刻槽分离，还会造成槽型角度的变化，使定向波长发生改变，严重的可改变100~150nm.当母光栅和复制基坯之间的环氧树脂胶固化好之后，由于两者之间镀有油层，所以两者较好分离。但是母光栅和复制基坯之间的多余胶液会充满光栅的边缘和倒角处，使两者牢固地结合在一起，所以分离起来较为困难。因此，良好的分离工艺是需要克服上述现象，使复制基坯和母光栅无损伤地分离开来。 

目前，平面复制光栅的分离方法主要有人工分离法和热梯度分离法两种。 

人工分离法是将小刀或刀片插入垂直于光栅刻槽方向的分界处，对光栅倒角和边缘处所积存的固化环氧树脂胶进行刮削，反复多次之后，在一定力的作用下，复制基坯和母光栅会自行分开。人工分离法的优点是余胶的清除较为彻底，有助于分离。但由于刀片的锋利性和人为控制的不定因素，会在刮削和分离的瞬间对光栅造成不同程度的损伤，轻者会在光栅表面留下灰印，重者会损坏复制基坯甚至是母光栅的表面，这对于分离来说是必须要避免的。 

热梯度分离法是利用由热梯度产生的弯曲力来进行分离,即加热或冷却一个复制基坯。如果不够,可以相反地处理另一复制基坯。如果其中一个 复制基坯是金属的,这个方法就更有效,因为热导率越大，热梯度就形成得越快。在相关专利文献方面，如文献（衍射光栅的复制技术，中国仪器仪表1984年03期）提出如果两个复制基坯都是低膨胀材料,就不能使用此方法。 

实用新型内容

实用新型内容本实用新型的目的在于，提供一种复制光栅的分离夹具，并借助人工 

分离和机械方法将母光栅和复制基坯进行分离，并为分离光栅提供了一种快捷，方便的操作结构。 

本实用新型所需要解决的技术问题，可以通过以下技术方案来实现： 

一种复制光栅的分离夹具，其特征在于，包括：工作台1，用于放置母光栅11；真空泵装置17，与工作台1连接，用于将母光栅11固定于工作台1上；复制基坯12，设置于母光栅11上，以及一对夹板5、6，设置于工作台上，一对夹板与复制基坯12的两侧相平行，用于夹住复制基坯12。 

进一步，本实用新型的复制光栅的分离夹具还可以具有这样的特征：工作台1，包括：储存凹槽14，用于放置母光栅11，储存凹槽14的深度小于母光栅的高度；真空凹槽15，设置于储存凹槽14的下方，并且其横截面的面积小于储存凹槽14的面积；以及圆柱形通孔16，上端与真空凹槽15连接，下端与真空泵装置17连接。 

进一步，本实用新型的复制光栅的分离夹具还可以具有这样的特征：其中，一对夹板(5、6)之间采用两个定位螺杆(8、10)连接。 

进一步，本实用新型的复制光栅的分离夹具还可以具有这样的特征：其中，至少有一个夹板与复制基坯12的一侧相连接。 

进一步，本实用新型的复制光栅的分离夹具还可以具有这样的特征：其中，复制基坯12的一侧相与一个夹板连接，复制基坯12的另一侧通过球形压块7与另一个夹板连接。 

进一步，本实用新型的复制光栅的分离夹具还可以具有这样的特征 

其中，球形压块7的顶点与夹板6相切，球形压块7采用固定螺钉9与复制基坯12固定连接，使得复制基坯12上下移动。 

进一步，本实用新型的复制光栅的分离夹具还可以具有这样的特征：其中，复制基坯12的一侧相与一个夹板采用固定螺钉(2、3)连接。防止夹板5在调节螺钉4受到工作台1对其的反作用力时脱离复制基坯。 

进一步，本实用新型的复制光栅的分离夹具还可以具有这样的特征：至少有一个夹板上设置有调节螺钉4。 

其中，旋转调节螺钉4使得工作台1有向下的作用力，工作台1对调节螺钉4产生一个向上的反作用力，使得夹板和复制基坯12一起向上移动，从而使得复制基坯12与母光栅11分离开。 

本实用新型的有益效果： 

1、本实用新型采用分别固定母光栅和复制基坯的方式，将带有真空泵装置的工作台来固定母光栅，在工作台上使用双夹板和球形压块相结合的模式来固定复制基坯。 

2、球形压块的顶点和夹板面相切，使得复制基坯的一侧可在一定程度上上下移动，保证了分离的可靠性。