[实用新型]微小圆孔尺寸及圆度同时测量的装置

权利要求书

1.一种微小圆孔尺寸及圆度同时测量的装置，其特征在于：包括He-Ne激光器、被测圆孔及夹持器、带标志玻璃接收屏、信息采集装置、信息处理装置，

其中的He-Ne激光器、被测圆孔及夹持器、带标志玻璃接收屏及信息采集装置由二维可调装置承载并置于光学平台上，其中夹持待测微小圆孔的为精密二维可调整装置，通过调整保证它们的中心基本在一条直线上，被测圆孔及夹持器及带标志玻璃接收屏表面平行并与上述直线垂直，数据采集前通过精密调整和判断，使He-Ne激光器发出的高准直度激光通过待测微孔所产生的衍射光斑中心与玻璃接收屏标志的中心一致达到对准和准直要求。

2.根据权利要求1微小圆孔尺寸及圆度同时测量的装置，其特征在于：所述的所述的精密二维可调整装置为精密二维调整台，它是通过螺旋测微器来调整水平竖直方向，所述的信息采集装置为CCD面阵摄像机，信息处理装置为计算机。

3.根据权利要求1微小圆孔尺寸及圆度同时测量的装置，其特征在于：所述的带标志玻璃接收屏为衍射图样的接收屏，其为正方形毛玻璃片，四周包裹并与精密二维调整装置相连，接收屏上标志有3.0mm×3.0mm的不透光“十”字叉，该标识位于接收屏的中心使激光通过衍射孔的衍射图样的中心与“十”字叉交点重合。

4.根据权利要求1微小圆孔尺寸及圆度同时测量的装置，其特征在于：所述的被测圆孔直径的测试量程为0.005mm~0.5mm。