[实用新型]一种模块化单台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及机电一体化设备领域，特别涉及了一种模块化单台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备。

背景技术

目前，硅片线切割工艺的现状，为了保证切割质量，切割工艺中使用的砂浆基本都是极少的重复使用，切割使用后的废弃砂浆直接作为工业废弃物堆积处理，或者委托专业处理厂对使用过的砂浆进行处理，无论以上那种方式，都会造成极大浪费，产生较大成本，因此，实现砂浆的回收再利用是硅片生产企业降低生产成本的有效途径，需要合理的设备，现有设备结构复杂，布局松散，占地面积大，同时由于整体结构固化单一，导致客户必须同时购买所有罐体。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了减小设备占地面积，实现设备模块化，特提供了一种模块化单台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备。

本实用新型提供了一种模块化单台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备，其特征在于：所述的模块化单台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备，包括一次液处理设备1，五号罐2，六号罐3，传输泵4，四号罐5，给料泵6，电控柜7，分离机8，一号罐9，二号罐10，三号罐11；

其中：分离机8水平摆放在整个设备正面，将一次液处理设备1垂直摆放在整个设备左侧；将一号罐9和三号罐11摆放在正面，二号罐10和五号罐2摆放在背面，电控柜7安装在设备一端，电控柜7分别分离机8和一次液处理设备1相连，二号罐10与一次液处理设备1相连，一次液处理设备1再与三号罐11相连，四号罐5与分离机8及一号罐9相连，五号罐2与一号罐9相连，六号罐3与一号罐9相连，给料泵6与四号罐5和六号罐3相连，四号罐5和六号罐3单独摆放在一起。

所述的分离机8为卧式螺旋沉降离心机。

所述的四号罐5为存储罐，所述的五号罐2为调和罐。

所述的单台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备中除了四号罐5和六号罐3之外的部分，整体作为一个大的功能单元模块，四号罐5和六号罐3能够单独摆放在一起，由生产设备的企业提供或使用设备的企业自行提供。

工作原理：

切片机产生的废旧砂浆，经分离机的分离后，形成一次分离液和回收的粗粉；一次分离液经一次液处理设备的分离后，产生回收的液相和回收固相，对回收固相进行再处理。

本实用新型的优点：

本实用新型所述的模块化单台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备，用于分离和回收硅片切割工艺中所产生的废砂浆，同时亦适用于半导体芯片、水晶、钻石等行业的废液回收利用。硅片切割废液中，PEG、SiC的回收率可达80%以上，硅片切割废砂浆在线回收设备与线切割机可采用1：4或1：5配置。有效地避免了浪费。模块化的设备，使设备的使用企业可自行准备存储罐，降低采购成本。

附图说明

下面结合附图及实施方式对本实用新型作进一步详细的说明：

图1为模块化单台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备的原理结构示意图。

具体实施方式

实施例

本实施例提供了本实用新型提供了一种模块化单台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备，其特征在于：所述的模块化单台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备，包括一次液处理设备1，五号罐2，六号罐3，传输泵4，四号罐5，给料泵6，电控柜7，分离机8，一号罐9，二号罐10，三号罐11；

其中：分离机8水平摆放在整个设备正面，将一次液处理设备1垂直摆放在整个设备左侧；将一号罐9和三号罐11摆放在正面，二号罐10和五号罐2摆放在背面，电控柜7安装在设备一端，电控柜7分别分离机8和一次液处理设备1相连，二号罐10与一次液处理设备1相连，一次液处理设备1再与三号罐11相连，四号罐5与分离机8及一号罐9相连，五号罐2与一号罐9相连，六号罐3与一号罐9相连，给料泵6与四号罐5和六号罐3相连，四号罐5和六号罐3单独摆放在一起。

所述的分离机8为卧式螺旋沉降离心机。

所述的四号罐5为存储罐，所述的五号罐2为调和罐。

所述的单台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备中除了四号罐5和六号罐3之外的部分，整体作为一个大的功能单元模块，四号罐5和六号罐3能够单独摆放在一起，由生产设备的企业提供或使用设备的企业自行提供。

工作原理：

切片机产生的废旧砂浆，经分离机的分离后，形成一次分离液和回收的粗粉；一次分离液经一次液处理设备的分离后，产生回收的液相和回收固相，对回收固相进行再处理。