[实用新型]一种选择控制反应离子的化学电离质谱仪

权利要求书

1.一种选择控制反应离子的化学电离质谱仪，包括产生混合离子的离子源、对混合离子中某一种离子选择通过的反应离子选择腔、化学电离反应腔和质谱探测腔，所述的离子源（1）与离子选择腔（2）相连，离子选择腔（2）前端设有混合离子入口（3）和载气入口（4），所述的离子选择腔（2）后端设有被选择出的反应离子出口（5）和载气出口（6），所述的离子选择腔（2）内设有两片平行板电极（7），所述平行板电极连接可控的射频电源（8），所述载气出口（6）设有微型真空泵（9），所述的反应离子出口（5）与化学电离反应腔（10）前端相连，所述化学电离反应腔（10）由多片环状电极和绝缘垫片组成，所述化学电离反应腔（10）的侧面具有待测气体入口，所述化学电离反应腔（10）后端连接质谱探测腔（11）。

2.根据权利要求1所述的选择控制反应离子的化学电离质谱仪，其特征在于：所述的两片平行板（7）电极间的距离在0.1mm~10mm。

3.根据权利要求1所述的选择控制反应离子的化学电离质谱仪，其特征在于：所述的射频电源能产生正负不对称的射频电压，并在此不对称射频电压上叠加可调节的直流电压，其中不对称射频电压形成的电极间电场为2~15kV/cm，频率为50kHz~5MHz，叠加的直流电压可调范围为-100V~100V。

4.根据权利要求1所述的选择控制反应离子的化学电离质谱仪，其特征在于：所述离子选择腔气压是10⁵Pa大气压或略低于此值。

5.根据权利要求1所述的选择控制反应离子的化学电离质谱仪，其特征在于：所述载气为空气、氮气、氢气、氦气或其它稀有气体。

6.根据权利要求1所述的选择控制反应离子的化学电离质谱仪，其特征在于：所述的离子选择腔设有加热恒温装置。

7.根据权利要求1所述的选择控制反应离子的化学电离质谱仪，其特征在于：所述的离子选择腔入口和出口孔径在0.1mm~3mm。

8.根据权利要求1所述的选择控制反应离子的化学电离质谱仪，其特征在于：所述的化学电离反应腔气压范围为60Pa~10⁵Pa。

9.根据权利要求1所述的选择控制反应离子的化学电离质谱仪，其特征在于：所述的化学电离反应腔内电场范围10V/cm~700V/cm。