[实用新型]胶接后硅棒圆心校准装置有效
申请号: | 201220219068.5 | 申请日: | 2012-05-16 |
公开(公告)号: | CN202576652U | 公开(公告)日: | 2012-12-05 |
发明(设计)人: | 徐良 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B33/06 | 分类号: | C30B33/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213213 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 胶接后硅棒 圆心 校准 装置 | ||
1.一种胶接后硅棒圆心校准装置,用于硅棒(5)与晶托(6)之间的圆心校准,其特征在于:具有底座(1)、用于旋转的圆盘(2)、分度表(4)和用于固定分度表(4)的支架(3),所述的圆盘(2)设置在底座(1)上,并且圆盘(2)旋转时,与底座(1)的位置关系固定,圆盘(2)的旋转中心为圆盘(2)的圆心;所述的支架(3)与底座(1)固定连接,所述的支架(3)上设有用于调节分度表(4)高度的调节机构,所述的分度表(4)与调节机构连接,所述的分度表(4)的测针(4-1)与底座(1)平行。
2.如权利要求1所述的胶接后硅棒圆心校准装置,其特征在于:所述的调节机构与支架(3)之间为固定位置可调节连接。
3.如权利要求1所述的胶接后硅棒圆心校准装置,其特征在于:所述的圆盘(2)上具有用于将晶托(6)的径向和周向固定的固定机构。
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