[实用新型]半导体清洗设备中的抽风装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体清洗设备中的抽风装置，用于半导体清洗设备中化学槽的抽风。

背景技术

目前，半导体清洗设备中的抽风系统是非常重要的设备，它能将化学槽中挥发出的有害气体抽走，避免工人受到有害气体的伤害，现有技术下的抽风装置只在抽风箱上开抽风口，抽风效果不理想，不能及时将酸雾抽走，还是有少量有害气体散到空气中。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术的缺陷，优化现有技术，提供一种能够即时有效地抽走化学槽内挥发出的有害气体的半导体清洗设备中的抽风装置。

实现本实用新型目的的技术方案是：一种半导体清洗设备中的抽风装置，包括带有排风口的抽风箱，抽风箱上可拆卸式地连接有抽风体，该抽风体上具有环绕在化学槽槽口周边的内壁，并且该内壁上均布有若干抽风口。

进一步，所述的抽风体为U型结构；

更进一步，所述的抽风体的两侧抽风口的分布是由里向外，从小到大的排列；

再进一步，所述的抽风体的底部封板为倾斜式封板。

采用了上述技术方案后，本实用新型的设置抽风口的内壁是环绕在化学槽槽口周边布置的，缩短了抽风口与化学槽槽口的距离，且抽风范围均匀，抽风效果更好，有害气体不会散开出来，影响到工作环境中，导致人受到有毒气体的伤害；抽风体抽风时产生的冷凝液会顺着倾斜式封板通过导流孔流到专有管道排走，避免被抽到抽风管道内影响管道的使用寿命；本实用新型的抽风体为可拆卸式地连接，方便了抽风体内部的清洁。

附图说明

图1为本实用新型的半导体清洗设备中的抽风装置的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，

如图1所示，一种半导体清洗设备中的抽风装置，包括带有排风口1-1和导流孔1-2的抽风箱1，抽风箱1上装有可拆卸式抽风体2，该抽风体2上具有环绕在化学槽3槽口周边的内壁，并且该内壁上均布有若干抽风口2-1，两侧抽风口2-1的分布是由里向外，从小到大的排列分布，且抽风体2的底部封板为倾斜式封板2-2。抽风体2为U型结构。

本实用新型的工作原理如下：

本实用新型的设置抽风口2-1的内壁是环绕在化学槽3槽口周边布置的，缩短了抽风口2-1与化学槽3槽口的距离，且抽风范围均匀，抽风效果更好，有害气体不会散开出来，影响到工作环境中，导致人受到有毒气体的伤害；抽风体2抽风时产生的冷凝液会顺着倾斜式封板2-2通过导流孔1-2流到专有管道到排走，避免被抽到抽风管道内影响管道的使用寿命；本实用新型的抽风体2为可拆卸式地连接，方便了抽风体2内部的清洁。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。