[实用新型]一种具有降温功能的法拉第屏蔽装置及等离子体处理设备

权利要求书

1.一种具有降温功能的法拉第屏蔽装置，其包括：

一法拉第屏蔽板；以及

一放置于所述法拉第屏蔽板之上或插入所述法拉第屏蔽板内部的导热部件，其特征在于，所述导热部件内装有冷却液，所述导热部件至少包括一用于输入冷却液输入接口以及一用于输出冷却液输出接口。

2.根据权利要求1所述的法拉第屏蔽装置，其特征在于，所述导热部件至少包括一根或多根导热管，所述一根或多根导热管组成如下形状中的任一种或任几种：

扇叶形；螺旋形；圆形；菱形；以及星形。

3.根据权利要求2所述的法拉第屏蔽装置，其特征在于，所述多根导热管均匀地布置于所述法拉第屏蔽板的表面或内部。

4.根据权利要求2所述的法拉第屏蔽装置，其特征在于，所述多根导热管在所述法拉第屏蔽板表面或内部呈中心和边缘分布，所述中心区域的导热管的密度大于所述边缘区域的导热管的密度。

5.根据权利要求3或4所述的法拉第屏蔽装置，其特征在于，所述导热管包括两根直径不同环状管和多根直管，所述多根直管与两根环状管相连通。

6.根据权利要求5所述的法拉第屏蔽装置，其特征在于，所述环状管均包括各自的输入接口以及输出接口，且所述环状管各自的输入接口以及输出接口同时连接一个冷却装置。

7.根据权利要求1所述的法拉第屏蔽装置，其特征在于，所述导热部件为一包含冷却液的导热板，所述导热板布置在所述法拉第屏蔽板的表面或内部，所述导热板与所述法拉第屏蔽板的尺寸相适应。

8.根据权利要求1至4或6或7中任一项所述的法拉第屏蔽装置，其特征在于，所述导热部件与法拉第屏蔽板之间通过焊接或使用导热胶相连接。

9.根据权利要求1至4或6或7中任一项所述的法拉第屏蔽装置，其特征在于，所述法拉第屏蔽板的材料为铝。

10.一种等离子体处理设备，其包括：

对被处理基板进行蚀刻的反应室；以及

配置在所述反应室上面并且与其隔开的线圈，所述线圈具有输入端、输出端，

其特征在于，还包括配置于所述反应室与所述线圈之间并与所述反应室以及所述线圈均隔开设置的根据权利1～11中任一项所述法拉第屏蔽装置。