[实用新型]真空启闭机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空设备，尤其涉及一种既能面向大气压反向密封，又能背向大气压正向密封，且密封性能好的真空启闭机构。

背景技术

太阳能发电是利用太阳光的辐射能量转化成电能并储存在蓄电池中为电器设备提供电力的发电形式。太阳能电池板是太阳能发电系统中的核心部分，也是太阳能发电系统中价值最高的部分。其作用是将太阳能转化为电能，并送往蓄电池中存储起来，因此，太阳能电池板的质量将直接决定整个系统的质量。

在太阳能电池板制备过程中，尤其是非晶硅太阳能电池板制备过程中需要进行镀膜处理，而每一次的蒸镀（或溅镀，或覆膜）膜层都需要处于真空环境中进行。而真空设备中一般使用闸阀对腔体进行密封。

现有的闸阀中，一种是利用凸轮机构实现阀板水平方向的推动，阀板的上下运动用一个主气缸推动实现。在此方案中，凸轮加工精度要求非常高，需专业加工才能满足要求，一般加工厂较难实现。同时基本上只能承受单向密封压力，不能适用于双向的正反向密封和大尺寸阀体的场合。另一种是采用分布式小气缸加波纹管式结构，主要原理是在与阀板平行方向均匀分布多个专制的小气缸以及波纹管，实现阀板水平方向的推动，闸板的上下运动用两个主气缸推动。在此方案中，没有现成的小气缸选购，靠自己加工，精度要求非常高，需专业加工才能满足要求，一般加工厂较难实现，波纹管较多，实施可靠性不高，从而造成密封性能不理想。

因此，基于上述不足，需要一种既能面向大气压反向密封，又能背向大气压正向密封，且密封性能好的真空启闭机构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种既能面向大气压反向密封，又能背向大气压正向密封，且密封性能好的真空启闭机构。

为了实现上述目的，本实用新型提供的真空启闭机构，适用于对太阳能基板的镀膜或封装生产，包括阀体、纵向驱动机构、斜楔、一对阀板、一对真空腔室及一对滚子机构；所述纵向驱动机构安装于所述阀体的上端，且输出端密封地伸入所述阀体内与所述斜楔连接；所述斜楔截面呈上大下小的等腰梯形结构，且两侧面分别开设有呈凸形的第一燕尾槽；所述阀板对称地设置于所述斜楔的两侧，所述阀板的内侧面为与所述斜楔相配合的斜面，且设有呈凹形的第二燕尾槽；所述第一燕尾槽与所述第二燕尾槽滑动配合。所述阀体两侧开设有相互连通的开口，所述真空腔室设置于所述阀体的两侧且分别与所述开口连通；所述阀板的外侧面设有第一密封圈，所述第一密封圈可与所述开口四周密封地抵触；其中一所述阀板开设有两侧相贯通的通气孔，所述阀板封闭所述开口时，所述通气孔与对应的所述开口连通，所述滚子机构分别安装于所述阀体的内底部两端，且可承载并引导所述阀板水平移动而封闭或打开所述开口。

较佳地，所述纵向驱动机构包括气缸、连接板及连接轴，所述气缸的输出端与所述连接板的一端垂直地连接，所述连接轴处于所述气缸的同侧且一端与所述连接板的另一端垂直地连接，所述连接轴的另一端密封地伸入所述阀体内并与所述斜楔连接。通过利用所述连接板，使所述气缸及连接轴连接于所述连接板的同侧两端，从而使所述连接轴实现与所述气缸同步地上升或下降。

具体地，所述纵向驱动机构还包括密封组件，所述密封组件包括法兰、第二密封圈及波纹管，所述波纹管套接所述连接轴，且一端与所述连接板密封连接，另一端与所述法兰密封地连接，所述法兰固定于所述阀体的上表面，所述第二密封圈设置于所述法兰与所述阀体之间。由于所述连接轴伸入阀体内，而所述阀体又需要处于密封状态，因此，利用所述波纹管将所述连接轴套接，并且两端分别与所述连接板及法兰密封连接，通过波纹管的可伸缩性，从而在不影响所述连接轴伸缩的情况下保证所述阀体的密封性。

具体地，所述纵向驱动机构还包括轴套，所述轴套安装于阀体的上端且伸入所述阀体内，并与所述连接轴套接。所述轴套可以将所述连接轴与所述阀体的上侧壁隔离，起到保护所述连接轴的作用。

较佳地，所述第一燕尾槽的表面安装有滚子组件，所述滚子组件包括滚子底座及若干第一滚子，所述第一滚子枢接于所述滚子底座内且与所述阀板的斜面滚动接触。利用所述第一滚子与所述阀板的斜面滚动接触，可防止所述斜楔的侧面与所述阀板的侧面直接磨擦接触，从而减小磨擦阻力，使滑动更加畅顺。

较佳地，所述斜楔的前后两端安装有导向滚子，所述阀体的前后两端的内侧壁开设有导向槽，所述导向滚子安装于所述导向槽内且与所述导向槽滚动接触。由于所述斜楔在所述纵向驱动机构的驱动下上升或下降，因此，通过设置所述导向滚子及导向槽，可保证所述斜楔上下移动时为直线运动轨迹，防止所述斜楔升降运动时发生偏移。