[实用新型]一种碱性蚀刻线氨氮排放控制装置有效
| 申请号： | 201220224939.2 | 申请日： | 2012-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN202655172U | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 刘棠方 | 申请（专利权）人： | 深圳市航盛电路科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B05B15/04 | 分类号： | B05B15/04;B05B13/02 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 黄震 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碱性 蚀刻 线氨氮 排放 控制 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种碱性蚀刻线氨氮排放控制装置，包括传送生产板件的传送单元、喷淋碱性液体的喷淋单元，其特征在于，在所述喷淋单元的出口设置向所述生产板件吹气流的风刀，所述风刀的气流方向与所述生产板件移动的方向的角度大于90度。
2.根据权利要求1所述碱性蚀刻线氨氮排放控制装置，其特征在于，所述风刀与所述生产板件的板面平行。
3.根据权利要求1所述碱性蚀刻线氨氮排放控制装置，其特征在于，所述风刀为至少两个，分别设置在所述生产板件上面和下面。
4.根据权利要求1所述碱性蚀刻线氨氮排放控制装置，其特征在于，所述风刀的气流方向与所述生产板件移动的方向的角度大于120度。
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