[实用新型]一种硅片裝卸篮设备有效
申请号: | 201220228347.8 | 申请日: | 2012-05-18 |
公开(公告)号: | CN202749350U | 公开(公告)日: | 2013-02-20 |
发明(设计)人: | 李伯平;梅宏 | 申请(专利权)人: | 南京华伯仪器科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京天达知识产权代理事务所(普通合伙) 11386 | 代理人: | 王庆海 |
地址: | 210032 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 裝卸篮 设备 | ||
技术领域
本发明涉及自动化控制领域,具体而言涉及一种硅片裝卸篮设备。
背景技术
目前使用的硅片插片机采用真空吸盘吸取硅片后,通过直线气缸或电机传动的方法移动硅片,移动到位置后释放真空放下硅片,皮带带动硅片传输插入篮具。其缺点是:1、传输距离较远,装卸硅片的速度变慢,工作效率会很低;2、这样的机器成本高,体积大。3、插片机只有插片功能,没有从篮具卸片的功能。
实用新型内容
为了解决上述问题,本发明提供了一种硅片裝卸篮设备,其包括:料盒上下马达,料盒,第一传感器,吹气装置,真空吸盘,碳纤维板,旋转气缸,上下气缸,旋转马达,滑轮,皮带,第二传感器,花篮上下马达,花篮,其中:
将旋转气缸的定子部分和上下气缸垂直连接,将碳纤维板固定安装在旋转气缸的转子部分上,在碳纤维板上安装两组真空吸盘,一组安装在碳纤维板的一侧下方,另一组安装在碳纤维板的相对侧下方,每组包含2个或更多个真空吸盘,该真空吸盘用于吸取硅片,该上下气缸用于使旋转气缸、碳纤维板和真空吸盘一起上升和下降,该旋转气缸用于使碳纤维板和真空吸盘一起旋转移动并且往返旋转180°;料盒位于一组真空吸盘的下方,其以可卸载方式安装在料盒上下马达上,在料盒上部的两侧分别安装第一传感器和吹气装置,该第一传感器用于检测硅片的上升高度并且当达到预定高度时发出使料盒上下马达停止的信号,该吹气装置用于在料盒上下马达停止时吹气使层叠的硅片分开,旋转马达、滑轮和皮带被安置在另一组真空吸盘的下方,花篮和花篮上下马达被安置在皮带传送方向的一侧并且花篮以可卸载方式安装在花篮上下马达的上方,第二传感器安装在皮带传送硅片进入花篮的篮齿方向的一侧且距离花篮20-50mm处,用于检测到有硅片插入到花篮的篮齿上时发出使花篮上下马达向上移动的信号,该花篮上下马达接到该向上移动的信号后向 上移动一个篮齿齿距的距离。
其中位于料盒上方的真空吸盘吸取硅片,同时位于皮带上方的真空吸盘卸载硅片到皮带上。
其中所述碳纤维板的长度为400-600mm,宽度为100-160mm,厚度为1-10mm。
其中所述每组真空吸盘的个数为4个。
其中在所述碳纤维板上安装的真空吸盘组多于2组。
本发明采用了旋转气缸带动真空吸盘旋转的方案,减少了电动执行器的运动,缩短运动时间,并且吸取硅片和放下硅片同时进行,使工作效率提高一倍。
另外,本发明采用碳纤维材料作为用于安装真空吸盘的固定板,其具有强度高、质量轻、韧性高等特点,还具有平面度好、不变形等优点,这保证了真空吸盘平直,吸取硅片稳定性好,同时旋转移动时惯量小、旋转速度快、工作效率高。
本发明的硅片裝卸篮设备解决了目前在众多太阳能电池制造厂家仍采用手工将硅片装入篮具和从篮具中取出硅片、效率低、碎片率高,浪费严重的技术问题;而且还减少了人工操作过程中对硅片的污染问题。
附图说明
图1示意性示出了本发明的硅片裝卸篮设备的结构图。
图2示意性示出了本发明的硅片装卸篮设备的一个变形结构的结构图。
具体实施方式
图1示意性示出了本发明的硅片裝卸篮设备的结构。在图1中,1为料盒上下马达,2为料盒,3为第一传感器,4为吹气装置,5为硅片,6为真空吸盘,7为碳纤维板,8为旋转气缸,9为上下气缸,10为旋转马达,11为滑轮,12为皮带,13为第二传感器,14为花篮上下马达,15为花篮。
本发明的硅片裝卸篮设备包括:料盒上下马达1,料盒2,第一传感器3,吹气装置4,真空吸盘6,碳纤维板7,旋转气缸8,上下气缸9,旋转马达10,滑轮11,皮带12,第二传感器13,花篮上下马达14和花 篮15;其中:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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