[实用新型]MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，包括：由线路板和外壳构成的封装结构，其特征在于：所述线路板由第一线路板和第二线路板组成，所述第一线路板设置在封装结构外侧，所述第二线路板设置在所述封装结构内侧并与所述外壳连接，所述封装结构内部所述第二线路板表面上设有由两个以上的电容器单元构成的MEMS声电转换芯片，所述第一线路板上设有主声孔，所述第二线路板上设有分别与所述MEMS声电转换芯片上的各电容器单元对应的次声孔，所述第一线路板与所述第二线路板结合处设有水平声音通道，所述第一线路板上的主声孔与所述第二线路板上的每个次声孔之间通过所述通道连通。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述通道设置在所述第一线路板与所述第二线路板相结合处的所述第一线路板结合面上。

3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述通道设置在所述第一线路板与所述第二线路板相结合处的所述第二线路板结合面上。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS声电转换芯片上的各电容器单元分别设置在同一基底上，共同构成整体式MEMS声电转换芯片。

5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS声电转换芯片上的各电容器单元分别设置在不同基底上，分别构成独立的MEMS声电转换芯片。

6.一种MEMS麦克风，包括：由线路板和外壳组成的封装结构，所述线路板上设有主声孔，其特征在于：所述封装结构内部所述线路板表面上设有一封闭环形支撑环，所述支撑环内部形成通道， 所述支撑环内径大于所述主声孔内径，所述支撑环上设有一连接板，所述连接板上设有MEMS声电转换芯片，所述MEMS声电转换芯片由两个以上的电容器单元构成，所述连接板上设有分别与所述MEMS声电转换芯片上的各电容器单元对应的次声孔，所述主声孔与所述各次声孔之间通过所述通道连通。

7.根据权利要求6所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS声电转换芯片上的各电容器单元分别设置在同一基底上，共同构成整体式MEMS声电转换芯片。

8.根据权利要求6所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS声电转换芯片上的各电容器单元分别设置在不同基底上，分别构成独立的MEMS声电转换芯片。

9.根据权利要求1-8任一权利要求所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述各电容器单元并联设置构成所述MEMS声电转换芯片。

10.根据权利要求1-8任一权利要求所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述各电容器单元串联设置构成所述MEMS声电转换芯片。