[实用新型]硅片检测装置

权利要求书

1.一种硅片检测装置，其特征在于，所述硅片检测装置包括：用于发射光线的光发射装置和用于接收所述光发射装置发射的光线的光接收装置；其中，所述光发射装置位于待检测硅片的一侧，所述光接收装置位于所述硅片的另一侧。

2.根据权利要求1所述的硅片检测装置，其特征在于，所述硅片检测装置还包括检测板，所述光发射装置内置在所述检测板内，所述光接收装置通过连接支架固定于所述检测板的上方，且所述光接收装置位于所述光发射装置的发射范围内。

3.根据权利要求2所述的硅片检测装置，其特征在于，所述连接支架为L形，所述连接支架包括垂直于所述检测板的第一边和平行于所述检测板且位于所述检测板上方的第二边，所述第一边的一端固定在所述检测板上，另一端与所述第二边相连，且所述光接收装置设置在所述第二边上。

4.根据权利要求1所述的硅片检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括检测板，所述光接收装置内置在所述检测板内，所述光发射装置通过连接支架固定于所述检测板的上方，所述光发射装置位于所述光接收装置的接收范围内。

5.根据权利要求4所述的硅片检测装置，其特征在于，所述连接支架为L形，所述连接支架包括垂直于所述检测板的第一边和平行于所述检测板且位于所述检测板上方的第二边，所述第一边的一端固定在所述检测板上，另一端与所述第二边相连，且所述光发射装置设置在所述第二边上。

6.根据权利要求1-5任一项所述的硅片检测装置，其特征在于，所述光发射装置为发光二极管，所述光接收装置为光效应传感器。

7.根据权利要求6所述的硅片检测装置，其特征在于，所述光发射装置为红外发光二极管，所述光接收装置为红外光效应传感器。