[实用新型]适用于圆形硅片的印刷模版

权利要求书

1.一种适用于圆形硅片的印刷模版，包括金属支撑丝网、感光乳剂层，所述感光乳剂层覆盖于所述金属支撑丝网，其特征在于，所述金属支撑丝网呈圆形，所述感光乳剂层设置有主栅线槽，所述金属支撑丝网上包括中央区域和外围区域，其中，所述中央区域被包围在所述外围区域中，所述中央区域内设置有中央副栅线槽，所述外围区域中设置有外围副栅线槽，所述主栅线槽连接所述中央副栅线槽和外围副栅线槽，所述中央副栅线槽呈同心的环状分布，所述外围副栅线槽呈放射状分布。

2.根据权利要求1所述的适用于圆形硅片的印刷模版，其特征在于，所述中央区域为与所述金属支撑丝网同心的圆形区域。

3.根据权利要求2所述的适用于圆形硅片的印刷模版，其特征在于，所述主栅线槽的数量为两条，所述中央区域的直径大于两条所述主栅线槽之间的间距，所述中央副栅线槽之间通过辅助栅线槽互相连接。

4.根据权利要求3所述的适用于圆形硅片的印刷模版，其特征在于，所述辅助栅线槽的宽度大于所述中央副栅线槽的宽度。

5.根据权利要求2所述的适用于圆形硅片的印刷模版，其特征在于，所述主栅线槽的数量为三条，位于中间的主栅线槽通过所述金属支撑丝网的中心。

6.根据权利要求1所述的适用于圆形硅片的印刷模版，其特征在于，还包括外框栅线槽，其中，所述外框栅线槽呈环状。

7.根据权利要求6所述的适用于圆形硅片的印刷模版，其特征在于，所述外框栅线槽位于所述外围区域内。

8.根据权利要求6所述的适用于圆形硅片的印刷模版，其特征在于，所述外框栅线槽沿所述金属支撑丝网的边缘延伸。