[实用新型]金属基体复合陶瓷压力传感器有效
申请号: | 201220252000.7 | 申请日: | 2012-05-31 |
公开(公告)号: | CN202661202U | 公开(公告)日: | 2013-01-09 |
发明(设计)人: | 薄卫忠 | 申请(专利权)人: | 无锡盛迈克传感技术有限公司 |
主分类号: | G01L1/00 | 分类号: | G01L1/00;G01L9/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214072 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属 基体 复合 陶瓷 压力传感器 | ||
【权利要求书】:
1.一种金属基体复合陶瓷压力传感器,其特征在于:包括由应变区和边缘支撑区构成的金属基体,所述金属基体的表面设有类陶瓷绝缘层,所述类陶瓷绝缘层的表面设有厚膜电路。
2.根据权利要求1所述的金属基体复合陶瓷压力传感器,其特征在于:所述类陶瓷绝缘层是烧结在金属基体表面上。
3.根据权利要求1所述的金属基体复合陶瓷压力传感器,其特征在于:所述厚膜电路是在绝缘层表面制作的惠斯顿电桥、以及温度补偿电路和零点修调电路。
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