[实用新型]平面摆式干涉仪有效
| 申请号： | 201220252267.6 | 申请日： | 2012-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN202631111U | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 高学军;龚蓉晔;王百华;刘志国;杨海山;武惠忠;彭海英;王文智 | 申请（专利权）人： | 北京瑞利分析仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/45 | 分类号： | G01J3/45 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨;雷电 |
| 地址： | 100016 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平面 摆式 干涉仪 | ||
1.一种平面摆式干涉仪，其特征在于，包括光源，所述光源后的光路上依次设有将光源发出的光准直为平行光的第一准直镜，以及将所述平行光分成两束光的分束器，所述两束光一束为反射光，另一束为透射光，
于所述分束器一侧的所述反射光的光路上，依次设有将所述反射光反射到第一角镜的第一平面镜，以及将所述反射光原路反射回所述分束器的所述第一角镜，
于所述分束器另一侧的所述透射光的光路上，依次设有将所述透射光反射到第二角镜的第二平面镜，以及将所述透射光原路反射回所述分束器的所述第二角镜，
所述第一角镜和第二角镜之间设有能够转动的扭曲轴承，使所述第一角镜和第二角镜摆动产生光程差，反射回所述分束器的反射光与透射光于所述分束器另一侧形成干涉光，所述分束器另一侧设有将所述干涉光汇聚到探测器的焦点上的第二准直镜。
2.如权利要求1所述的平面摆式干涉仪，其特征在于，所述平行光以20°入射角进入所述分束器。
3.如权利要求1所述的平面摆式干涉仪，其特征在于，所述扭曲轴承通过电磁驱动音圈带动。
4.如权利要求1所述的平面摆式干涉仪，其特征在于，所述第一平面镜、第二平面镜、第一角镜、第二角镜和分束器均固定到一个干涉仪架上。
5.如权利要求1所述的平面摆式干涉仪，其特征在于，所述第一平面镜和第二平面镜其中之一为固定式，另一平面镜为能够平行移动。
6.如权利要求1所述的平面摆式干涉仪，其特征在于，所述第一平面镜和第二平面镜均能够平行移动。
7.如权利要求1所述的平面摆式干涉仪，其特征在于，所述第一平面镜和第二平面镜外形为圆形、长方形或椭圆形。
8.如权利要求1所述的平面摆式干涉仪，其特征在于，所述第一平面镜和第二平面镜材质为石英玻璃。
9.如权利要求1所述的平面摆式干涉仪，其特征在于，所述第一平面镜和第二平面镜的光学反射镜面镀金。
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