[实用新型]一种新型的单晶硅片化学腐蚀花篮有效
申请号: | 201220254868.0 | 申请日: | 2012-06-01 |
公开(公告)号: | CN202839708U | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
发明(设计)人: | 柳杉;黄治国;王鹏;包兵兵;梅超 | 申请(专利权)人: | 上饶光电高科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/673 |
代理公司: | 江西省专利事务所 36100 | 代理人: | 杨志宇 |
地址: | 334100 江*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 单晶硅 化学 腐蚀 花篮 | ||
技术领域
本实用新型技术应用于晶体硅太阳能电池片制程中,单晶硅片的化学腐蚀制程工艺,特别是涉及一种新型的单晶硅片化学腐蚀花篮。
背景技术
目前,晶体硅太阳能电池制程中单晶硅片的化学腐蚀制程工艺中,硅片是垂直插在在片盒两边的卡槽中的,硅片在卡槽中是松动的,硅片一面的两条边随机的贴在卡槽的一边。在化学腐蚀液中,硅片贴在片盒卡槽上的两条边,由于与片盒接触,该区域化学腐蚀会受到影响,导致相对于其他区域该区域外观发白,形成单面片盒印,并且该区域光学反射率偏高,削弱化学腐蚀的作用:降低硅片表面的光学反射,提高电池的吸光率。虽然晶体硅太阳电池只需选取硅片的一面作为受光面,但是由于硅片在片盒中是随机的贴向一面的,所以产生的片盒印是无序的,所以在进入下道工序时,必须筛选硅片的无片盒印面作为电池的受光面。筛选时,增加人员的工作量,降低了生产效率,并且人为的筛选,总存在疏忽,仍有部分硅片的片盒印面被用作受光面,最终降低了产品的品质。
发明内容
本实用新型提供一种通过对化学腐蚀花篮的底部垫入倾斜角度的斜板,从而达到花篮中的硅片向同一方向倾斜,产生的硅片盒印均在同一面,选取硅片同一方向无硅片盒印面作为电池的受光面的化学腐蚀花篮。
本实用新型的技术方案是:
一种新型的单晶硅片化学腐蚀花篮,其中:花篮中装有硅片盒,花篮底部设有斜板。
一种新型的单晶硅片化学腐蚀花篮,其中:硅片盒位于花篮内斜板上方。
一种新型的单晶硅片化学腐蚀花篮,其中:硅片盒与花篮的底板成5°-10°的夹角。
本实用新型的优点在于:普通的化学腐蚀花篮中,硅片与硅片盒接触,形成单面硅片盒印,由于硅片盒印是无序的,筛选硅片的无硅片盒印面作为电池的受光面时增加了工作量,降低了效率,并且由于人为的疏忽,部分硅片的硅片盒印面被用作受光面,降低了产品的品质,本实用新型单晶硅片化学腐蚀花篮就是将传统花篮底部的增设一块与水平面呈5°-10°的角度的斜板,使得硅片向同一方向倾斜,产生的片盒印均在同一面,解决了因花篮使用时需区分电池的受光面的烦恼,使得花篮在使用中更加方便。
附图说明
图1为本实用新型单晶硅片化学腐蚀花篮改进后的结构示意图;
附图标记:花篮1、硅片盒2、斜板3。
具体实施方式
实施例1、一种新型的单晶硅片化学腐蚀花篮,其中:花篮1中装有硅片盒2,花篮1底部设有斜板3。
实施例2、一种新型的单晶硅片化学腐蚀花篮,其中:硅片盒2位于花篮1内斜板3上方。
实施例3、一种新型的单晶硅片化学腐蚀花篮,其中:硅片盒2与花篮1的底板成5°-10°的夹角。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的