[实用新型]光栅栅距实时在线测量装置有效
申请号: | 201220256338.X | 申请日: | 2012-06-01 |
公开(公告)号: | CN202770411U | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | 常丽 | 申请(专利权)人: | 沈阳工业大学 |
主分类号: | G01B11/14 | 分类号: | G01B11/14;G01B11/02 |
代理公司: | 沈阳智龙专利事务所(普通合伙) 21115 | 代理人: | 宋铁军;周智博 |
地址: | 110870 辽宁省沈*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光栅 实时 在线 测量 装置 | ||
1.一种光栅栅距实时在线测量装置,其特征在于:该装置主要包括精密工作台(1)、电机(2)和控制器(4);光栅传感器安装在精密工作台(1)上,光栅传感器通过数据采集系统(5)连接至控制器(4),控制器(4)通过驱动器(3)连接至电机(2),电机(2)连接至精密工作台(1)。
2.根据权利要求1所述的光栅栅距实时在线测量装置,其特征在于:该装置还包括显示单元和设置参数单元,显示单元和设置参数单元连接至控制器(4)。
3.根据权利要求1或2所述的光栅栅距实时在线测量装置,其特征在于:光栅传感器包括标尺光栅和指示光栅,标尺光栅设置在精密工作台上,指示光栅设置在标尺光栅上。
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