[实用新型]光栅栅距实时在线测量装置

权利要求书

1.一种光栅栅距实时在线测量装置，其特征在于：该装置主要包括精密工作台（1）、电机（2）和控制器（4）；光栅传感器安装在精密工作台（1）上，光栅传感器通过数据采集系统（5）连接至控制器（4），控制器（4）通过驱动器（3）连接至电机（2），电机（2）连接至精密工作台（1）。

2.根据权利要求1所述的光栅栅距实时在线测量装置，其特征在于：该装置还包括显示单元和设置参数单元，显示单元和设置参数单元连接至控制器（4）。

3.根据权利要求1或2所述的光栅栅距实时在线测量装置，其特征在于：光栅传感器包括标尺光栅和指示光栅，标尺光栅设置在精密工作台上，指示光栅设置在标尺光栅上。