[实用新型]双摆臂式直驱固晶机

权利要求书

1.一种双摆臂式直驱固晶机，其特征在于，包括旋转电机、连接于旋转电机输出端的摆臂连接板、安装于摆臂连接板上的两组相背设置的摆臂机构；

所述摆臂机构包括摆臂座、固定于摆臂座中的音圈马达定子、通过一竖直设置的第三导轨与摆臂座连接的滑块、固定于滑块上并与音圈马达定子相适配的音圈马达动子、固定于滑块上的摆臂；音圈马达定子与音圈马达动子配合驱动滑块沿所述第三导轨相对于摆臂座做升降运动；

摆臂座由摆臂连接板带动旋转而使整个摆臂机构旋转。

2.根据权利要求1所述的双摆臂式直驱固晶机，其特征在于：所述摆臂机构与摆臂连接板通过安装座连接，两组摆臂机构分别位于安装座两相对的侧壁，其中一组摆臂机构通过水平设置的第二导轨安装于安装座的侧壁上；安装座上端通过第一导轨与摆臂连接板连接，第一导轨平行于摆臂机构长度方向设置。

3.根据权利要求2所述的双摆臂式直驱固晶机，其特征在于：所述第一导轨与第二导轨为交叉滚子导轨副。

4.根据权利要求1所述的双摆臂式直驱固晶机，其特征在于：所述旋转电机输出端安装一齿轮箱，所述摆臂连接板固定于齿轮箱底部，旋转电机的旋转动力通过所示齿轮箱传动而驱动摆臂连接板旋转。

5.根据权利要求1-4任一项所述的双摆臂式直驱固晶机，其特征在于：所述滑块的一侧壁固定有竖直放置的光栅尺；所述摆臂座的一侧壁固定安装有一感应头固定座，感应头固定座为U字形柱体状，其开口端的一边设置有朝外的突耳，所述突耳与摆臂座固定，感应头固定座内固定安装光栅尺感应头；光栅尺感应头与滑块上的光栅尺对应配合提供滑块上下运动的位置检测。

6.根据权利要求1-4任一项所述的双摆臂式直驱固晶机，其特征在于：所述摆臂座下端侧壁固定设有感应器，所述滑块下端侧壁设有相应的感应支架，感应支架与感应器相对配合提供滑块上下运动的原点位置参考。

7.根据权利要求1-4任一项所述的双摆臂式直驱固晶机，其特征在于：所述第三导轨为交叉滚子导轨副。