[实用新型]直接光驱动扫描微镜有效
| 申请号： | 201220258458.3 | 申请日： | 2012-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN202720387U | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 徐英舜 | 申请（专利权）人： | 凝辉(天津)科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;B81B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300384 天津市华苑产*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 直接 驱动 扫描 | ||
【权利要求书】：
1.一种直接光驱动扫描微镜，其特征在于：它包括微驱动器、平面弹簧、可动镜片和微透镜，微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端与可动镜片的输入端相连，微透镜的输出端与微驱动器的输入端相连；每个器件包括1个可动镜片、2个平面弹簧、2个微驱动器和1个微透镜，可动镜片与2个平面弹簧相连，每个平面弹簧与1个微驱动器相连。
2.如权利要求1所述的一种直接光驱动扫描微镜，其特征在于：所述的微驱动器采用微加工技术制成，基于双金属效应，由多层材料，如硅，二氧化硅，金属，金属氧化物组成。
3.如权利要求1所述的一种直接光驱动扫描微镜，其特征在于：所述的平面弹簧采用微加工技术制成，由多层材料，如硅，二氧化硅组成。
4.如权利要求1所述的一种直接光驱动扫描微镜，其特征在于：所述的可动镜片采用微加工技术制成，由多层材料，如硅，二氧化硅组成；表面镀有高反射率薄膜。
5.如权利要求1所述的一种直接光驱动扫描微镜，其特征在于：所述的微透镜采用微加工技术制成，具有低热阻。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于凝辉(天津)科技有限责任公司，未经凝辉(天津)科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201220258458.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种侧入式LED背光源装置
- 下一篇：一种节能型LED模组
