[实用新型]光驱动扫描微镜

权利要求书

1.一种光驱动扫描微镜，其特征在于：它包括微驱动器、平面弹簧、可动镜片和光电池。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端与可动镜片的输入端相连，光电池的输出端与微驱动器的输入端相连；每个器件包括1个可动镜片、2个平面弹簧、2个微驱动器和1个光电池，可动镜片与2个平面弹簧相连，每个平面弹簧与1个微驱动器相连。 

2.如权利要求1所述的一种光驱动扫描微镜，其特征在于：所述的微驱动器采用微加工技术制成，基于电热驱动原理，由多层材料，如硅，二氧化硅，金属，金属氧化物等组成。 

3.如权利要求1所述的一种光驱动扫描微镜，其特征在于：所述的可动镜片的机械偏转角度为0-45度。 

4.如权利要求1所述的一种光驱动扫描微镜，其特征在于：所述的平面弹簧采用微加工技术制成，由多层材料，如硅，二氧化硅等组成。 

5.如权利要求1所述的一种光驱动扫描微镜，其特征在于：所述的可动镜片采用微加工技术制成，由多层材料，如硅，二氧化硅等组成。 

6.如权利要求1所述的一种光驱动扫描微镜，其特征在于：所述的可动镜片的中心部分为在二氧化硅基底上沉积的光学薄膜，反射波长为300-980纳米，透射波长为1020-1550纳米。 

7.如权利要求1所述的一种光驱动扫描微镜，其特征在于：所述的光电池采用微加工技术制成，由多层材料，如硅，二氧化硅等组成；光电池的敏感波长为1020-1550纳米。