[实用新型]一种用于多晶硅铸锭炉的冷却装置

权利要求书

1.一种用于多晶硅铸锭炉的冷却装置，其特征在于：

将加热笼内设置有一隔温门，该隔温门将加热笼分为上下两个腔室；

所述上腔室为加热室，于上腔室内顶部设有上加热器，中部设有坩埚，下部设有下加热器，用于对坩埚内的硅料快速熔化；

所述下腔室为制冷室，于下腔室内底部设有换热装置，用于对坩埚匀速、均匀降温，以便实现多晶硅均匀定向生长。

2.按权利要求1所述的冷却装置，其特征在于：

所述上腔室内设置有一定向温度传导装置，所述定向温度传导装置设置于坩埚和下加热器之间。

3.按权利要求1所述的冷却装置，其特征在于：

所述隔温门为至少两个门扇或者两个门扇以上的对开隔温门；

所述隔温门贯穿隔热笼侧壁与驱动电机连接，所述隔温门通过驱动电机驱动与隔热笼侧壁滑动配合连接。

4.按权利要求1所述的冷却装置，其特征在于：

所述隔温门为多个对开门扇，每对对开门扇为一层，多对门扇可以形成两层或三层结构，当两个门扇对接后，由下层门扇封闭上层对接处的间隙，确保隔温性能。

5.按权利要求1所述的冷却装置，其特征在于：所述隔温门打开后，开口处可以形成长方形、正方形或圆形的结构。

6.按权利要求1所述的冷却装置，其特征在于：所述隔温门的材质为固化碳纤维；所述换热装置采用水冷换热盘。