[实用新型]一种磁力探测器

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体测试领域，具体涉及一种磁力探测器。

背景技术

半导体测试领域，要用测试探针接通晶圆晶粒的pad,通过探测机器发出测试信号开始测试，这一功能是通过一名称为探测器的辅助装置实现的。

探测器有一静触点和一探测旋转杆，旋转杆平常通过弹簧弹力，自身重力或其它力与触点接触，当一晶圆置于探针台上上升运动时，其晶粒触及到装于探测旋转杆上的探针，从而使探测旋转杆旋转，进而使旋转杆与静触点分离。在静触点和旋转杆上分别接上一对电极的正极和负极，从而可以检测到静触点与旋转杆的接通和断开，当静触点与旋转杆接通时，说明探针与晶粒没有接通；当静触点与旋转杆断开时，说明探针与晶粒已经接通，探测机器便发出测试信号，探针电极接通测试电路进行晶粒的测试。

而现有的探测器的精确度和性能均不是很良好。 

发明内容

为了提高探测器的精确度，本实用新型提供了一种磁力探测器。

一种磁力探测器，包括探测器主体和旋转杆，所述旋转杆包括旋转杆头和旋转杆尾，还包括旋转杆轴，所述旋转杆轴安装在所述探测器主体上，所述旋转杆头和旋转杆尾分别在旋转杆轴的两侧，所述旋转杆尾上设有第一磁部件，所述探测器主体上设有第二磁部件和静触点，可相靠近或远离的所述第一磁部件与第二磁部件之间存在磁引力，可与所述静触点相接触或分离的所述旋转杆可绕旋转杆轴转动。

优选地，所述旋转杆包括支撑块，所述探测器主体上开有用以安装所述支撑块的支撑块槽，所述旋转杆头和旋转杆尾安装在所述支撑块的两侧，所述探测器主体的下表面设有旋转杆槽，所述静触点和第二磁部件安装在所述旋转杆槽的上表面，所述旋转杆轴安装在所述支撑块和支撑块槽的侧壁上。

优选地，还包括调节螺杆，所述探测器主体上表面设有安装所述调节螺杆的螺杆孔，所述调节螺杆的靠近探测器主体下表面的一端具有容纳孔，所述第二磁部件安装在所述容纳孔内。

优选地，还包括两个球头柱塞，所述支撑块槽的两个侧壁上分别开有球头柱塞孔，所述旋转杆轴的两个端面是凹弧面，所述旋转杆轴穿过所述支撑块，球头柱塞安装在球头柱塞孔内且球头顶在旋转杆轴的凹弧面内。

优选地，所述旋转杆头包括探针，所述探针包括探针主体、与探针主体连接的探针头、以及与探针主体呈一定角度的探针尾，所述旋转杆头的上表面设有与探针主体配合的水平槽，侧面开有与探针尾相配合的竖直槽，所述探针主体和探针尾分别安装在水平槽和竖直槽内。

优选地，所述旋转杆头包括探针和压块，所述探针包括探针主体和与探针主体连接的探针头，所述压块具有与旋转杆头相配合的压块槽，所述压块槽的内表面具有与探针主体配合的探针槽，所述旋转杆头的上表面设有与探针主体配合的水平槽，所述旋转杆头穿过压块槽，所述探针主体安装在探针槽和水平槽之间。

优选地，还包括紧固件，所述压块的上表面设有紧固件槽，所述旋转杆头的上表面设有安装孔，所述紧固件穿过紧固件槽固定在安装孔内。

优选地，所述第一磁性部件是磁铁，所述第二磁性部件是铁。

优选地，所述球头柱塞与球头柱塞孔通过螺纹配合，所述旋转杆轴与支撑块之间安装有轴承。

优选地，所述探针头与所述探针主体呈一定角度。

现有的探测器旋转支撑采用金属薄片，其容易变形且会产生附加的探测力，性能不好，且探测器的调力采用弹簧，弹簧力为机械力且弹簧与旋转杆为机械接触，调力性能不好；相比现有的探测器，本磁性探测器调力采用磁铁，磁铁与探测旋转杆无接触，通过磁铁与旋转杆的距离来调节力的大小，性能优异且精确度高；旋转支撑采用轴承，灵活无附加力产生，不影响探测力的精密调试；另外本探测器同时采用夹针结构，通过压针块在夹针杆上的滑移来装取探针，非常方便。

附图说明

图1是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的部分剖侧视组装示意图；

图2是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的部分剖侧视示意图；

图3是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的部分剖视组装示意图；

图4是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的示意图图；

图5是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的旋转杆转轴的示意图；

图6是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的组装示意图；

图7是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的局部放大示意图；

图8是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的压块示意图。

具体实施方式

以下将结合附图，对本实用新型的实施例作进一步详细说明。