[实用新型]还原炉绝缘套

说明书

一、技术领域

本实用新型涉及一种还原炉绝缘套，它属于多晶硅生产领域。

二、背景技术

传统的还原炉绝缘套是石英制造的，但是对于还原炉生长过程中目前国内普遍面临以下问题：

1、石英绝缘套造价高，并在运输过程中易破碎。

2、石英绝缘套使用过程中损坏现象严重，重复利用性差，成本高。

3、石英绝缘套再次使用时，清洗困难，耗时耗力。

三、实用新型的内容

本实用新型的目的是提供一种新型的还原炉绝缘套，其具有优点：一、本实用新型还原炉绝缘套成本低、运输方便、不易损坏；二、本实用新型还原炉绝缘套在生产过程中不易粘硅粉；三、本实用新型的还原炉绝缘套提高绝缘套的重复利用率，降低成本。

本实用新型的目的是这样来实现的：它由陶瓷绝缘底座、陶瓷绝缘环、石墨盖板构成，陶瓷绝缘底座与还原炉底盘之间设有四氟垫片，陶瓷绝缘底座的底部光滑，陶瓷绝缘底座的顶部设有圆槽，槽面上套入套筒，铜电极置于套筒中，陶瓷绝缘环置于陶瓷绝缘底座的外部，石墨盖板置于陶瓷绝缘环上部。

本实用新型还原炉绝缘套，其具有以下优点：

其一：陶瓷绝缘环和陶瓷绝缘底座都采用九九瓷材质，主要成分是氧化铝，也就是氧化铝含量在99％的陶瓷材料，该材料具有耐高温、耐腐蚀、耐磨损、高绝缘等特性，石墨盖板采用石墨材质，在反复多次高压击穿硅芯的实验及还原炉硅棒沉积的生产中，新型还原炉绝缘套起到了良好的绝缘效果，可以替代石英材质。

其二：新型绝缘套不似石英易碎，并且在还原炉运行沉积多晶硅的过程中，不易粘硅粉，粘上的少量硅粉可以通过腐蚀清洗设备清除，省时省力。

其三：新型绝缘盖板的外径较绝缘环外径多出25mm，可以更好的起到绝缘效果。

四、附图说明

附图1为本实用新型还原炉绝缘套的结构示意图。

其中：1----陶瓷绝缘底座、2----陶瓷绝缘环、3----石墨盖板、4----铜电极、5----套筒、6----四氟垫片、7----还原炉底盘

五、具体实施方式

下面结合附图来对本实用新型具体实施方式作进一步的说细描述：

参照附图，本实用新型还原炉绝缘套，它由陶瓷绝缘底座1、陶瓷绝缘环2、石墨盖板3构成，陶瓷绝缘底座1与还原炉底盘7之间设有四氟垫片6，陶瓷绝缘底座1的底部光滑，陶瓷绝缘底座1的顶部设有圆槽，槽面上套入套筒5，铜电极4置于套筒5中，陶瓷绝缘环2置于陶瓷绝缘底座1的外部，石墨盖板3置于陶瓷绝缘环2上部。