[实用新型]光刻机电子系统的整体布局的结构有效
| 申请号： | 201220271233.1 | 申请日： | 2012-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN202735678U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 陈修涛;周玉;陈勇 | 申请（专利权）人： | 合肥芯硕半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06F13/38 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230601 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 机电 子系统 整体 布局 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种光刻机电子系统的整体布局的结构，包括有上位机和多个子系统，其特征在于：还包括有电路板、连接板，所述的电路板上设有通信系统，通信系统还扩展设有8个SPI口、两个串口和一个网口，上位机通过网口与通信系统进行通信连接，各个子系统通过SPI口和串口与通信系统连接，各个子系统均置于连接板上，所述的连接板上设有电源，连接板上的电源为各个子系统供电。
2.根据权利要求1所述的光刻机电子系统的整体布局的结构，其特征在于：所述的各个子系统和连接板固定于一个4U机箱中。
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