[实用新型]多晶硅还原炉尾气节能系统有效
申请号: | 201220272376.4 | 申请日: | 2012-06-11 |
公开(公告)号: | CN202625863U | 公开(公告)日: | 2012-12-26 |
发明(设计)人: | 孙惺惺;李子林;刘美芬;陈丞浩;李引平 | 申请(专利权)人: | 江苏双良新能源装备有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人: | 唐纫兰 |
地址: | 214444 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 还原 尾气 节能 系统 | ||
1.一种多晶硅还原炉尾气节能系统,其特征在于:所述系统包括冷却器(1)、还原炉(2)、气水换热器(3)、汽化器(4)和气气换热器(5),所述还原炉(2)尾气出口直接和冷却器(1)进口连接,出冷却器(1)的尾气接入气气换热器(5),下步接入气水换热器(3);热水接入冷却器(1),出冷却器(1)的热水接入还原炉(2),下步进入气水换热器(3),热水出了气水换热器(3)接入汽化器(4);TCS和H2同时进入汽化器(4),出了汽化器(4)的混合气体TCS+H2进入气气换热器(5),气气换热器(5)的混合气体TCS+H2出口接入还原炉(2)。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉尾气节能系统,其特征在于:所述冷却器(1)采用的是夹套冷却器。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉尾气节能系统,其特征在于:所述尾气被冷却至180℃以下,混合气体TCS+H2完全气体状态进入还原炉。
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