[实用新型]一种扩散炉用隔热门

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及高温扩散炉领域，尤其是涉及一种应用在半导体器件及太阳能电池片生产中使用的高温扩散炉的隔热门。

【背景技术】

公知的，在半导体器件及太阳能电池片生产过程中，做为关键设备之一的高温扩散炉是用来对P型或N型衬底进行掺杂以在硅片表面形成PN结，从而达到改变和控制杂质的类型、浓度和分布，以便在硅片上建立不同电特性区域的目的；目前，最主要的也是最普遍的就是在700～1000℃的高温下通过扩散炉来实施掺杂工艺，这其中，由于温度是掺杂工艺中关键的参数之一，其会直接影响到PN结的深度，从而影响电阻，并最终影响到相关器件的性能，因此，在掺杂工艺流程中对扩散炉内的温度有着严格的要求；传统高温扩散炉的口部是依靠一块石英平板来进行简单的封盖，但由于石英平板不能起到高效隔热的作用，所以极易造成炉内的热量由炉口处快速流失，而此时的高温扩散炉只能通过提高加热功率来补偿流失的热量，这不但导致热利用率较低，而且还极大的浪费了能源。

【发明内容】

为了克服背景技术中的不足，本实用新型提供了一种扩散炉用隔热门，所述的隔热门不但能够简单有效的封盖住高温扩散炉的炉口，而且还能够有效的隔离炉内的热辐射，减少热量的流失。

为实现上述发明目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种扩散炉用隔热门，所述的隔热门包含内门板、外门板、边框和填充物；所述内门板与外门板的大小吻合对应，内门板与外门板通过位于各自相对一端端面外缘位置的边框连接为一中空的整体结构，该结构的中空部位填充有隔热保温的填充物。

所述的扩散炉用隔热门，所述的内门板和外门板均为圆形结构。

所述的扩散炉用隔热门，所述的边框和内门板及外门板通过焊接或螺栓连接固定。

所述的扩散炉用隔热门，所述的边框框身设有至少一个通气孔。

所述的扩散炉用隔热门，所述的边框对应上方的框身间隔均匀的设有1～6个通气孔。

所述的扩散炉用隔热门，所述的通气孔孔径为2～8mm。

所述的扩散炉用隔热门，所述的内门板、外门板和边框均由不透明石英玻璃材质制成。

所述的扩散炉用隔热门，所述的填充物主要成份为陶瓷纤维或石英纤维。

由于采用如上所述的技术方案，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型所述的扩散炉用隔热门采用了双层门结构，从而在简单有效的封盖住高温扩散炉的炉口同时，还通过在夹层内填充的保温隔热材料有效的隔离了炉内的高温，使炉内的热量难以传导至外部，即达到了隔离炉内的热辐射，减少热量流失的目的。

【附图说明】

图1是本实用新型的示意图。

图中：1、内门板；2、外门板；3、边框；4、填充物；5、通气孔。

【具体实施方式】

通过下面的实施例可以更详细的解释本发明，公开本实用新型的目的旨在保护本实用新型范围内的一切变化和改进，本实用新型并不局限于下面的实施例；

结合附图1所述的扩散炉用隔热门，所述的隔热门包含有由不透明石英玻璃材质制成的内门板1、外门板2和边框3，以及用于隔热保温的主要成份为陶瓷纤维或石英纤维的填充物4；所述内门板1与外门板2的大小吻合对应，且采用了对应高温扩散炉炉口形状的圆形结构；内门板1与外门板2通过位于各自相对一端端面外缘位置的边框3连接为一中空的整体结构，该结构的中空部位填充有隔热保温的填充物4，即在利用边框3将内门板1与外门板2连接固定为一体的同时，还通过边框3将内门板1与外门板2之间夹持的填充物4紧密的包裹固定；为便于组装，能够通过焊接或螺栓将边框3和内门板1及外门板2连接固定为一个整体结构；此外，在实际应用中，为使填充物4在受到过大的热量影响时能够与外界进行气流交换，以避免填充物4自身因过热而可能引发的相关危险，能够在边框3对应上方的框身上间隔均匀的设有至少1～6个孔径为2～8mm的通气孔5。

实施本实用新型所述的扩散炉用隔热门时，只需通过相应的工具将所述的隔热门对应封盖在高温扩散炉的炉口上，就是将所述隔热门的内门板紧密抵触在高温扩散炉的炉口处，使所述的隔热门完全将扩散炉的炉口密闭起来，此时，将所述的隔热门固定后就能够达到隔离扩散炉炉内的热辐射，减少炉内热量流失的目的了。

本实用新型未详述部分为现有技术，故本实用新型未对其进行详述。