[实用新型]超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置。

背景技术

超纯气体通常指纯度在99.9999%以上的气体。在瓶装超纯气体生产中，气体包装物（气瓶）的预处理是一个关键。如果气瓶处理稍有不慎，就会导致气体纯度的极大波动。在气瓶预处理的诸多步骤中，水分处理又显得尤为关键。和其他常见的不冷凝杂质不同的是，水的附着力较强，容易附着在气瓶内壁上。如果气瓶内壁没有经过特殊的抛光处理，气瓶中水分的处理就变得非常困难。

现行的方法首先是采用气瓶真空干燥装置将气瓶加热6~8小时，干燥气瓶里的水分。然后再将干燥好的气瓶连接到汇流排，使用超纯气体对干燥后气瓶进行反复的抽空置换处理。抽空置换的次数通常在5~8遍，耗时在3~5个小时。

气瓶真空干燥装置有两类，一类是密闭式加热，另一类是外露式加热。密闭式干燥装置的特点是加热温度高，水分气化相对较快；但过高的加热温度（通常超过100℃）也导致了对气瓶阀门有损害。所以使用密闭式干燥装置前，需要气瓶卸下阀门；在气瓶干燥完后再将气瓶阀门装上。外露式真空干燥装置是将气瓶的瓶阀和瓶颈裸露在外，仅对气瓶的瓶身加热。缺点是加热温度低（通常在80℃左右）、保温较差，加热时间长；优点是不需卸下气瓶阀门。气体公司通常使用密闭式干燥装置，但是密闭式干燥装置有几个缺点：第一是没有对气体阀门进行干燥；第二是气瓶干燥后安装阀门的国产中气瓶内部会进入空气和水分。经过实验，超纯气体的生产中，这两个缺点会较明显的增加气瓶中的杂质含量。

气体公司通常采用手动的抽空置换装置。手动置换装置虽然安装简单，但是过多人为操作可能会导致产品质量的波动。而且由于该步骤周期较长，也浪费人力物力。

实用新型内容

本实用新型提出一种超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置，它能够有效地克服现有技术中的不足，气瓶抽空置换全部采用电磁阀和程序自动控制，在真空加热的同时，不断用超纯气体对气瓶进行抽空和置换，将气瓶真空干燥和气瓶抽空置换的同时处理，使用外露式真空干燥装置，将气瓶瓶身加热并保持在70℃。

本实用新型的技术方案是这样实现的：一种超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置，包括外露式气瓶烘箱和气路总管，气路总管上分别连接有自动排空单元、自动置换单元和自动抽空单元。

作为优选，所述自动排空单元包括依次连接的排空电磁阀和排空单向阀。

作为优选，所述排空电磁阀为电磁隔膜阀。

作为优选，所述自动置换单元包括依次连接的置换气瓶、减压阀、纯化器、置换电磁阀。

作为优选，所述置换电磁阀为电磁隔膜阀。

作为优选，所述自动抽空单元包括依次连接的真空泵和抽空电磁阀。

作为优选，所述抽空电磁阀为电磁隔膜阀。

作为优选，所述真空泵为双极真空泵。

本实用新型的有益效果在于：

（1）使用外露式气瓶真空干燥装置，不需卸下气瓶阀门，保证气瓶干燥效果。

（2）加热温度为70℃；在近真空的环境下，水的沸点大大降低。水分能够气化。经温度检测，在瓶身温度达到70℃时，气瓶阀门温度也能够达到40℃左右，在该温度和压力下，水分也能沸腾气化。

（3）采用全自动抽空置换装置，节省人力物力。

（4）气瓶真空干燥和抽空置换同时进行，大大节省时间，而且比两个步骤依次进行的效果更好。

（5）系统全部采用电磁隔膜阀，气瓶阀门采用隔膜瓶阀，并使用双极真空泵，依次提高真空度。真空度越高，水分越易气化，抽空置换的效率也更高。

（6）使用减压阀控制置换气压力，减少置换气的消耗。

（7）显著减少处理的置换次数，减少置换气的消耗，节省时间。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的其中一个实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型其中一个实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。