[实用新型]硅片隧道烘箱

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅片湿法处理清洗设备，具体地说，涉及一种硅片隧道烘箱。

背景技术

目前，用于硅片烘干的装置有多种，常用的有单工位热风干燥，多工位热辐射干燥等，多工位即隧道式干燥箱提高了干燥效率，但是单纯的热辐射加热不够均匀，导致损伤硅片或其夹具。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术的缺陷，提供一种能提高加热效率，加热均匀并且能保证硅片烘干质量的硅片隧道烘箱。

实现本实用新型目的的技术方案是：一种硅片隧道烘箱，包括保温箱体，保温箱体的左、右两侧开有相贯通的开口，保温箱体上固定有带输送链条的链输送装置，输送链条穿过两开口，所述的保温箱体内上部设有多个出风口，保温箱体内设有热辐射加热装置，且热辐射加热装置位于出风口下方，保温箱体内下部设有进风口，所述的保温箱体外设有循环风装置，循环风装置的吸风口与保温箱体的出风口相连通，循环风装置的吹风口与保温箱体的进风口相连通。

进一步，所述的保温箱体的箱壁内填充有保温棉。

更进一步，所述的链输送装置具有安装框架，保温箱体固定在安装框架上，在输送链条右端的安装框架上安装有位置检测传感器。 

采用了上述技术方案后，硅片隧道烘箱在烘干过程中，输送链条将待烘干的装有硅片的清洗篮输送进隧道内，循环风装置产生的冷风从下部的进风口进入保温箱体内，经过热辐射加热装置，将冷风加热成热风，热风吹过硅片，从而达到硅片的烘干效果，热风在从上部的出风口使用循环风装置抽出，这种循环方式的设置使得风更容易循环，循环风提高了加热效率，加热较均匀，并且输送链条的设置，保证了清洗篮步进式输送，输送链条无剧烈运动，避免了硅片的碎裂；保温箱体的箱壁内填充的保温棉使得热量不易散去，更好地保证了烘干质量；位置检测传感器的设置使得可以更好地控制输送链条的传动，使每个清洗篮能得到更好的烘干时间，提高烘干效果，并且便于自动化控制。

附图说明

图1为本实用新型的硅片隧道烘箱的结构示意图；

图2为图1的左视剖视图。

具体实施方式

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，

如图1、2所示，一种硅片隧道烘箱，包括保温箱体1，保温箱体1的左、右两侧开有相贯通的开口，保温箱体1上固定有带输送链条2的链输送装置，输送链条2穿过两开口，保温箱体1内上部设有多个出风口1-1，保温箱体1内设有热辐射加热装置3，且热辐射加热装置3位于出风口1-1下方，保温箱体1内下部设有进风口1-2，保温箱体1外设有循环风装置4，循环风装置4的吸风口与保温箱体1的出风口1-1相连通，循环风装置4的吹风口与保温箱体1的进风口1-2相连通。

如图1、2所示，保温箱体1的箱壁内填充有保温棉1-3。

如图1所示，链输送装置具有安装框架5，保温箱体1固定在安装框架5上，在输送链条2右端的安装框架5上安装有位置检测传感器6。

本实用新型的工作原理如下：

硅片隧道烘箱在烘干过程中，输送链条2将待烘干的装有硅片的清洗篮7输送进隧道内，循环风装置4产生的冷风从下部的进风口1-2进入保温箱体1内，经过热辐射加热装置3，将冷风加热成热风，热风吹过硅片，从而达到硅片的烘干效果，热风在从上部的出风口1-1使用循环风装置4抽出，这种循环方式的设置使得风更容易循环，循环风提高了加热效率，加热较均匀，并且输送链条2的设置，保证了清洗篮7步进式输送，输送链条2无剧烈运动，避免了硅片的碎裂；保温箱体1的箱壁内填充的保温棉1-3使得热量不易散去，更好地保证了烘干质量；位置检测传感器6的设置使得可以更好地控制输送链条2的传动，使每个清洗篮7能得到更好的烘干时间，提高烘干效果，并且便于自动化控制。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。