[实用新型]一种双管扫描器联动跟踪型原子力显微探测系统

权利要求书

1.一种双管扫描器联动跟踪型原子力显微探测系统，其特征在于包括双管扫描器联动跟踪型原子力显微探测头（1）、前置放大器（2）、扫描与反馈控制单元（3）、硬件接口（4）、计算机（5）和显示器（6）；前置放大器（2）与光电位置探测器（13）及扫描与反馈控制单元（3）连接，扫描与反馈控制单元（3）与双管扫描器（14）、硬件接口（4）相连，硬件接口（4）与计算机（5）连接，计算机（5）与显示器（6）连接。

2.根据权利要求1所述的一种双管扫描器联动跟踪型原子力显微探测系统，其特征在于所述的双管扫描器联动跟踪型原子力显微探测头（1）包括激光器（7）、联动透镜（8）、L形结构（9）、楔块（10）、探针座（11）、微探针（12）、光电位置探测器（13）、双管扫描器（14）、垫块（15）、装配座（16）、导轨（17）、立架（18）、粗调机构（19）、细调机构（20）、底座（21）、样品台（22）、样品（23）；联动透镜（8）通过L形结构（9）及微探针座（11）与双管扫描器（14）相连，微探针（12）通过探针座（11）与双管扫描器（14）相连，双管扫描器（14）通过垫块（15）固定在装配座（16）上，激光器（7）和光电位置探测器（13）分别安装固定在装配座（16）上，装配座（16）与导轨（17）相连，导轨（17）安装在立架（18）上并通过粗调机构（19）和细调机构（20）作垂直上下移动，立架（18）和样品台（22）分别固定在底座（21）上，样品（23）安装在样品台（22）上。

3.根据权利要求1所述的一种双管扫描器联动跟踪型原子力显微探测系统，其特征在于所述的双管扫描器（14）包括隔绝垫圈（24）、Y轴分割槽（25）、Y电极地（26）、Y正电极（27）、X轴分割槽（28）、X电极地（29）、X正电极（30）、Z正电极（31）；其中，隔绝垫圈（24）将上层的Y轴扫描管与下层的X轴扫描管隔开，上层的Y轴扫描管又被两条对称分布的Y轴分割槽（25）隔开，形成Y电极地（26）和Y正电极（27），下层的X轴扫描管被两条对称分布的X轴分割槽（28）隔开，形成X电极地（29）和X正电极（30），两条Y轴分割槽（25）与两条X轴分割槽（28），两两正交，从而形成上下双层结构、相互正交二等分的双管扫描器（14），分别实现X轴和Y轴的微纳米扫描，两者彼此独立，不产生耦合，扫描得到的AFM图像不会产生畸变。