[实用新型]蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种蓝宝石晶圆棒加工领域的装置，具体是指用于将晶圆棒毛坯中心轴与滚圆机夹持装置中心轴快速定位重合的蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置。

背景技术

随着人们对外延芯片的需求量越来越大，对衬底用蓝宝石晶圆棒质量指标的要求也越来越高，为了提高精度，需要进一步地减小晶圆棒毛坯中心轴与滚圆机夹持装置中心轴的同心度之差。

现有技术中通常采用以下方式来减小晶圆棒毛坯中心轴与滚圆机夹持装置中心轴的同心度差：先将晶圆棒毛坯夹持，然后用百分表测量同心度之差，再用敲击方式使二者中心轴逐渐靠近，然而这样的处理方式由于需要人工控制测量及敲击过程，所花费时间较长，由于人工操作造成的同心度重复性较差，不利于批量生产，且使用敲击的方式会对晶体表面质量造成不良影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置，解决现有技术中存在的减小晶圆棒毛坯中心轴与滚圆机夹持装置中心轴的同心度差时花费时间较长，同心度重复性较差，不利于批量生产的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置，包括晶圆棒毛坯套筒，与晶圆棒毛坯套筒中心同轴且上下相连的夹持装置套筒，设置于夹持装置套筒上的紧固螺栓。

为了确保本装置的稳定性与精确度，所述晶圆棒毛坯套筒与夹持装置套筒固为一体结构。

具体地说，所述晶圆棒毛坯套筒的内壁直径为2～6英寸。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

（1）通过使用本定位装置，能够快速准确地实现晶圆棒毛坯与滚圆机夹持装置的中心定位，大大提高了蓝宝石晶圆棒的生产效率和产品质量。

（2）本实用新型中晶圆棒毛坯套筒与夹持装置套筒上下连接为一体结构且中心同轴，通过将晶圆棒毛坯及夹持装置分别套在相应的套筒内，能够使晶圆棒毛坯与夹持装置的中心定位精度到0.20mm以内，定位十分准确。

（3）在使用过程中，人们可以根据实际情况选用不同直径的晶圆棒毛坯套筒，并通过紧固螺栓旋紧，这样的设置方式使得其同心度跳动在0.20mm以内便可以完成定位工作，与现有的定位方式同心度跳动通常大于0.5mm相比具有十分明显的优势。 

（4）使用本实用新型能够将中心定位操作时间控制在10分钟以内，与现有技术采用的方式相比生产效率提高了一倍，具有十分明显的优势。

（5）本实用新型结构简单、实施方便，成本低廉，非常适合大规模推广应用。

附图说明

图1为本实用新型-实施例的结构示意图。

上述附图中，附图标记对应的名称如下：

1-晶圆棒毛坯套筒，2-夹持装置套筒，3-紧固螺栓。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明，本实用新型的实施方式包括但不限于下列实施例。

实施例

如图1所示，蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置，包括中心同轴且固为一体结构的晶圆棒毛坯套筒1及夹持装置套筒2，且二者为上下结构，夹持装置套筒2上还设置有紧固螺栓3，考虑到实际应用时的需求，晶圆棒毛坯套筒1的内壁直径优选为2～6英寸。

本实用新型的使用过程如下：

改变晶圆棒毛坯套筒1的直径，将工装做成一系列不同的型号，根据晶圆棒毛坯的实际外直径选用合适的晶圆棒毛坯套筒1，将夹持装置套筒2套接于夹持装置上，将晶圆棒毛坯套筒1套接于晶圆棒毛坯上，拧紧紧固螺栓3，利用两套筒中心跳动精度来保证晶圆棒毛坯与转动轴的同心度，开启机床夹持装置，将晶体夹持，之后用百分表检测定位情况，跳动在0.20mm内即完成定位工作。

按照上述实施例，便可很好地实现本实用新型。