[实用新型]双级混合式罗茨真空泵

权利要求书

1.一种双级混合式罗茨真空泵，包括电机、联轴器（1）、前盖（2）、后盖（5）和泵体（3），其特征在于：泵体（3）中设置中间隔板（13）和一对平行安装的主动转子轴（9）、从动转子轴（17），电机通过联轴器（1）与主动转子轴（9）相连，主动转子轴（9）通过同步齿轮（15、16）与从动转子轴（17）连接，泵体（3）由中间隔板（13）分隔成前、后两个腔室，中间隔板（13）上设有连接通道（12），每个腔室中设置一对转子，每对转子相互垂直的安装在主动转子轴（9）和从动转子轴（17）上，后腔室（19）上设有冷气进口（22），后腔室（19）的排气口（6）连接换热器（8）的进口，换热器（8）的出口通过返气管路（7）与后腔室（19）的冷气进口（22）连通。

2.根据权利要求1所述的双级混合式罗茨真空泵，其特征在于：在前腔室排气口与后腔室进气口间气路上的任意位置与前腔室的进气口之间设置压差阀（4）。