[实用新型]大尺寸CZ直拉单晶炉真空泵的避震装置

说明书

技术领域

    本实用新型涉及一种避震装置，尤其涉及一种大尺寸CZ直拉单晶炉真空泵的避震装置。

背景技术

    目前，公知的CZ直拉单晶法需要在20TORR以下的低压环境下进行长晶，拉制过程中必须维持真空泵的高速运转；真空泵运转过程，对地面造成冲击，形成一定频率的震源，传到至CZ直拉单晶炉，致使单晶无法生长。因此从真空泵引入至今，对如何隔绝震源的人们都采取了很多措施。目前普遍使用的真空泵的避震，都是真空泵地下垫上橡胶避震的方法，或者适用单层避震的模式；而在CZ直拉法单晶炉日趋发展的今天，单晶炉腔体的尺寸越来越大，由原来的80炉增加至85炉、90炉、95炉、100炉等；相应所需要真空泵的排气速率也必须增加。为了增加排气速率，各真空泵厂家纷纷在原有70泵的基础上改进了100泵及120泵推出市场，以增加真空泵的排气速率，而相应的真空泵的震动也相应增加，原来的避震措施已经无法达到隔绝震动传输的效果。

实用新型内容

本实用新型目的就是为了弥补已有技术的缺陷，提供一种避震效果好的大尺寸CZ直拉单晶炉真空泵的避震装置。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种大尺寸CZ直拉单晶炉真空泵的避震装置，包括槽钢支架和避震模块，所述的避震模块分为上避震模块和下避震模块，所述的上避震模块包括有四根圆形的聚乙烯树脂棒，用螺杆固定在所述的槽钢支架与真空泵之间，所述的下避震模块包括有四个避震橡胶垫，直接置于所述的槽钢支架与地基之间，所述的避震模块还包括中间避震模块，所述的中间避震模块包括有四个避震弹簧和八个固定弹簧，所述的固定弹簧每两个为一组，分为上、下固定弹簧，上、下固定弹簧的一端分别固定在所述的槽钢支架内的上、下支架的两端，每两个上、下固定弹簧之间固定一避震弹簧。

所述的上、下固定弹簧的一端分别固定在所述的槽钢支架内的上、下支架上的固定方式为焊接。

所述的固定弹簧为钢制的。

本实用新型的工作原理是：

本实用新型采用三层避震的方式：采用比橡胶弹性系数更好的聚乙烯树脂棒做为一级避震材料，第二级避震采用避震弹簧做主要材料，第三级避震采用30mm厚度的橡胶垫做避震材料。由于三种材料的弹性系数都不一样，缓冲震动的幅度也不一样而不会形成共振频率，以达到震动幅度层层缓冲，层层降低的效果，并且最大限度的降低共振形成几率。经过三级缓冲后，真空泵运转形成的震动已经大幅度降低，符合的晶体生长要求。

    本实用新型的优点是：本实用新型采用三层避震方式，不仅使用了聚乙烯树脂棒和避震橡胶垫做主要的避震材料，还添加了避震弹簧作为中间避震模块的主材料，使缓冲震动的幅度不一样不会形成共振频率，达到层层缓冲，震动层层降低，最后达到很好的避震效果，最大化的避免震动对晶体生产的影响。

附图说明

    图1为本实用新型正面示意图。

具体实施方式

如图1所示，一种大尺寸CZ直拉单晶炉真空泵的避震装置，包括槽钢支架1和避震模块，所述的避震模块分为上避震模块和下避震模块，所述的上避震模块包括有四根圆形的聚乙烯树脂棒2，用螺杆固定在所述的槽钢支架1与真空泵之间，所述的下避震模块包括有四个避震橡胶垫3，直接置于所述的槽钢支架1与地基之间，所述的避震模块还包括中间避震模块，所述的中间避震模块包括有四个避震弹簧4和八个固定弹簧5，所述的固定弹簧5每两个为一组，分为上、下固定弹簧，上、下固定弹簧的一端分别固定在所述的槽钢支架1内的上、下支架的两端，每两个上、下固定弹簧之间固定一避震弹簧4。

所述的上、下固定弹簧的一端分别固定在所述的槽钢支架1内的上、下支架上的固定方式为焊接。

所述的固定弹簧5为钢制的。