[实用新型]一种具有大开口的甩干机内筒硅片盒夹具侧板有效
申请号: | 201220283630.0 | 申请日: | 2012-06-17 |
公开(公告)号: | CN202630652U | 公开(公告)日: | 2012-12-26 |
发明(设计)人: | 秦国东 | 申请(专利权)人: | 无锡市优耐特石化装备有限公司 |
主分类号: | F26B25/12 | 分类号: | F26B25/12 |
代理公司: | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人: | 刘洪京 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 开口 甩干机内筒 硅片 夹具 | ||
1.一种具有大开口的甩干机内筒硅片盒夹具侧板,包括侧板体(1),其特征在于:所述侧板体(1)外表面设置X形加强筋(4),环绕此X形加强筋(4)四周分别开设一个开口(2)。
2.根据权利要求1所述的具有大开口的甩干机内筒硅片盒夹具侧板,其特征在于:每两个开口(2)之间通过X形加强筋(4)相隔。
3.根据权利要求1所述的具有大开口的甩干机内筒硅片盒夹具侧板,其特征在于:所述侧板体(1)一侧与侧面拼接板(5)组合连接。
4.根据权利要求3所述的具有大开口的甩干机内筒硅片盒夹具侧板,其特征在于:位于侧面拼接板(5)两侧,从上至下依次排列有若干固定孔(3)。
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