[实用新型]卧式镀膜设备有效
| 申请号： | 201220284567.2 | 申请日： | 2012-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN202688421U | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 杨宪杰 | 申请（专利权）人： | 杨宪杰 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳市国科知识产权代理事务所(普通合伙) 44296 | 代理人： | 陈永辉 |
| 地址： | 523007 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 卧式 镀膜 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种卧式镀膜设备，其特征在于，包括：
壳体，壳体内部设有容置空间；
第一收放卷，设于壳体内用于绕制待镀膜金属板材并通过旋转释放金属板材；
第二收放卷，设于壳体内用于接收已镀膜金属板材并旋转回收于收放卷上；
靶材，设于金属板材运行路径的两侧用于对金属板材进行磁控溅射镀膜；
浮动辊，设于金属板材的运行路径上用于提供金属板材的恒定的张紧度；
其中所述的壳体为卧式壳体，所述的第一收放卷和第二收放卷设于壳体内部一端，所述的浮动辊设于壳体内部另一端，所述的封闭舱设于金属板材由第一收放卷经浮动辊到第二收放卷形成的U形路径范围中，所述的靶材设于与封闭舱相对的两侧壳体内壁上。
2.如权利要求1所述的卧式镀膜设备，其特征在于：所述的壳体内中部还设有用于减少壳体内无效空间的封闭舱,封闭舱两侧设有加热器。
3.如权利要求2所述的卧式镀膜设备，其特征在于：壳体上对应于靶材的位置设置有舱门。
4.如权利要求3所述的卧式镀膜设备，其特征在于：所述的壳体上设有检测浮动辊的升降以对收放卷的转速进行微调的传感器。
5.如权利要求4所述的卧式镀膜设备，其特征在于：所述的浮动辊设于一水平的浮动辊支架上，浮动辊可相对于浮动辊支架水平运动。
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