[实用新型]立式镀膜设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种板材涂层加工设备，尤其是一种立式往复卷绕连续真空镀膜加工设备。

背景技术

由于常规能源的大力开发利用，造成世界范围内的环境污染日趋严重。世界上很多国家已经认识到，太阳能作为可再生能源，在持久使用环境资源为人类造福方面将起到十分巨大的作用。有着丰富太阳能资源的中国，已于2006年1月1日起正式实施《可再生能源法》，同时，国家“十一五”规划纲要也已把可再生资源的发展作为一项重要任务，因此太阳能热器本身具有巨大的潜在的推广应用价值。近年来，平板式太阳能集热器由于具有承压能力强，吸热面积大等特点，是太阳能与建筑一体化结合最佳的集热器类型。而平板式太阳能集热器的核心技术就在于吸热板表面的吸收涂层，吸收涂层的质量，决定着整个集热器的性能。

现有的涂层镀制设备一般为多个真空室：装料闭锁和阀门室、工艺室和起料室。工艺室的端部直接在输送系统上。各种附件可以放置在工艺室中以实现各种磁控环境和固定磁控溅射源。这种设备的每一个工艺室都只能镀制一种膜层，因此在镀制多层太阳能吸热涂层的时候，就需要多个工艺室，各腔室之间需要若干真空封闭装置，工作线很长，难于控制，质量不稳定，导致设备成本高昂，体积庞大。而且这种镀制设备的生产效率和成品率也比较低。上述的这个技术问题，长期存在于平板式太阳能行业中，至今没有得到有效的解决。

发明内容

本实用新型提供一种结构简单、成本低、镀膜工艺质量易于控制且稳定的立式镀膜设备。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

它包括壳体，壳体内部设有容置空间；

第一收放卷，设于壳体内用于绕制待镀膜金属板材并通过旋转释放金属板材；

第二收放卷，设于壳体内用于接收已镀膜金属板材并旋转回收于收放卷上；

靶材，分别设于金属板材运行路径的两侧用于对金属板材进行磁控溅射镀膜；

浮动辊，设于金属板材的运行路径上用于提供金属板材的恒定的张紧度；

其中，所述的壳体为立式壳体，所述的第一收放卷和第二收放卷设于壳体内部下方，所述的第一收放卷和第二收放卷上方分别设置第一导向辊和第二导向辊，所述的浮动辊设于第一收放卷、第二收放卷、第一导向辊和第二导向辊之间的位置，所述的封闭舱设于金属板材由第一导向辊经浮动辊到第二导向辊形成的U形路径范围中，金属板材由第一收放卷经第一导向辊到浮动辊形成的U形路径范围中和金属板材由浮动辊经第一导向辊到第二收放卷形成的U形路径范围中分别设置一组靶材。

上述结构中，所述的壳体上设有检测浮动辊的升降以对收放卷的转速进行微调的传感器。

上述结构中，所述的浮动辊设于一垂直的浮动辊支架上，浮动辊可相对于浮动辊支架垂直运动。

上述结构中，所述的壳体内中部还设有用于减少壳体内无效空间的封闭舱,封闭舱两侧设有加热器。

由于采用了上述结构，本实用新型的立式镀膜设备在壳体内部形成一金属板材由第一收放卷到第二收放卷的释放和回收的路径，将靶材设于金属板材的运行路径的两侧进行磁控溅射镀膜，使得内部部件的结构紧凑，整机体积小巧，而且整个运行过程持续稳定可控，极大的提高了镀膜工艺的品质，加强了吸热板芯的吸热效果，提高了光能的转化效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例的平面内部结构示意图；

图2是本实用新型实施例的立体内部结构示意图。

具体实施方式

如图1和图2所示，本实用新型的实施例中所提供的立式镀膜设备包括立式壳体，壳体内部设有容置空间；第一收放卷，设于壳体内用于绕制待镀膜金属板材并通过旋转释放金属板材；第二收放卷，设于壳体内用于接收已镀膜金属板材并旋转回收于收放卷上；靶材，分别设于金属板材运行路径的两侧用于对金属板材进行磁控溅射镀膜。

工作时，第一收放卷旋转进行金属板材的释放，释放的金属板材经过靶材时进行磁控溅射镀膜，然后由第二收放卷进行回收待用，具体原理可参考本领域的磁控溅射镀膜技术，此处不再重复说明。