[实用新型]一种镀镍机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种镀镍机，尤其涉及半导体后工序生产线镀镍机。

背景技术

现有的镀镍机超声槽超声直接做在槽子上，制作较为困难，且超声头坏了不容易修理；硅片在镀镍槽内上下抖动，最后不提出液面，如此一来操作人员取片架不方便，容易被腐蚀到，镀镍槽内氨水容易挥发，需定时补充，手动添加氨水费时费力，且每次添加量不一样，使腐蚀液酸碱度不准确，硅片腐蚀不均匀；原镀镍槽内无鼓泡功能，硅片腐蚀不均匀。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，自动检测槽内酸碱度，且有氨水自动添加功能，准确，方便，效率高。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种镀镍机，包括机体、加工槽系统、称量部、抖动提升机构、配管系统、匀流板与工作平台，所述机体为长方体结构，包括左机体与右机体；所述工作平台固定于机体中部；所述加工槽系统包括：超声槽、镀镍加热槽、活化液腐蚀槽、IPA槽与快排槽，均固定在工作平台上；所述称量部固定于工作平台上；所述抖动提升机构固定于机体上端，抖动提升机构的末端固定有匀流板；所述配管系统固定于机体底部，工作平台下方。

进一步地，所述超声槽与IPA槽的数量均为2个，且材料均为不锈钢。

进一步地，所述镀镍加热槽的数量为4个，且材料均为石英玻璃。

进一步地，所述活化液腐蚀槽的数量为1个，且材料为NPP。

进一步地，所述快排槽的数量为2个，且材料为NPP。

进一步地，所述称量部的数量为2个。

本实用新型提供的一种镀镍机，自动检测槽内酸碱度，且有氨水自动添加功能，准确，方便，效率高，硅片在液面下自动上下抖动，腐蚀均匀，频率可调，方便拿取硅片，省时省力，效率高。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型一种镀镍机的正视结构示意图；

图2是本实用新型一种镀镍机的侧视结构示意图；

图3是本实用新型一种镀镍机的俯视结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1、2、3所示，本实用新型一种镀镍机，包括机体、加工槽系统、称量部8、抖动提升机构9、配管系统10、匀流板11与工作平台12，所述机体为长方体结构，包括左机体1与右机体2；所述工作平台12固定于机体中部；所述加工槽系统包括：超声槽3、镀镍加热槽4、活化液腐蚀槽5、IPA槽6与快排槽7，均固定在工作平台12上；所述称量部8固定于工作平台上；所述抖动提升机构9固定于机体上端，抖动提升机构9的末端固定有匀流板11；所述配管系统10固定于机体底部，工作平台12下方。

本实用新型提供的一种镀镍机，自动检测槽内酸碱度，且有氨水自动添加功能，准确，方便，效率高，硅片在液面下自动上下抖动，腐蚀均匀，频率可调，方便拿取硅片，省时省力，效率高。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。