[实用新型]平板型X射线图像传感器有效

专利信息
申请号: 201220290613.X 申请日: 2012-06-19
公开(公告)号: CN202633313U 公开(公告)日: 2012-12-26
发明(设计)人: 胡世文 申请(专利权)人: 上海天马微电子有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 郑玮
地址: 201201 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 平板 射线 图像传感器
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及图像显示技术领域,特别涉及一种平板型X射线图像传感器。

背景技术

平板型X射线图像传感器是一种将X光按光强转化为电信号的装置。X光照射物体并且穿透物体后,通过吸收、散射、发射而使光强发生变化,不同区域的不同光强,表示了被照射物体不同区域的内部结构的差异。穿透被照射物体的X光通过平板型X射线图像传感器转化为相应的电信号,最终实现一个与被照射物体内部结构直接相关的灰阶图像。所以平板型X射线图像传感器实现了物体的无损内部成像,是实现无损检测的最佳方法之一,在医疗成像,工业无损探测等领域都得到了广泛的应用和长足的发展。

平板型X射线图像传感器是一个大面积的像素阵列,像素的大小和多少反映了最后图像的分辨率和面积。请参考图1,其为平板型X射线图像传感器中一个像素的结构示意图。如图1所示,平板型X射线图像传感器中每个像素都包括一个光电二极管(PIN Photo-Diode)12及与所述光电二极管12耦接、用以控制电信号的读取的薄膜晶体管(TFT)11。具体的,当X射线照射到闪烁层13(Scintillator,例如碘化铯,用以将X射线转换成可见光)上,X射线被转换为可见光,光电二极管12在可见光的照射下产生光电子,在光电二极管偏置电压Vcom(公共电极)15的作用下,电子存储到光电二极管底电极14上,接着由扫描时序电路(图1中未示出)驱动TFT 10逐行打开,光电二极管12产生的光电子被读出电路(图1中未示出)收集并转换为数字信号。

现有的平板型X射线图像传感器中,给光电二极管提供偏置电压的Vcom(公共电极)包括外围的Vcom总线及显示区内的Vcom线,其中,外围的Vcom总线围绕像素阵列成环形形状,位于不同层(layer)的信号线(一般为数据信号线)不可避免的与环形形状的Vcom总线(Vcom环形回路,以下简称Vcom ring)相交叠。由于工艺设备接触、电路贴合(IC/FPC bonding)、性能测试等手动操作过程中会引入静电,通常在数据信号线与Vcom ring交叠处释放而产生静电放电(Electron Static Discharge,ESD)击穿,导致数据信号线与Vcom ring短路,使产品出现坏线而成为废品。此类缺陷现有的修复方式是激光隔离Vcom ring与数据信号线的短路区域,但是这样修复后Vcom ring被断开,破坏了Vcom环路电压的一致性,使得平板型X射线图像传感器性能下降。

请参考图2,其为现有的平板型X射线图像传感器中Vcom ring修复状态示意图。如图2所示,所述平板型X射线图像传感器包括光电二极管10、与所述光电二极管10耦接的TFT 9、用以读取信号的数据信号线1及与所述信号线1相交叠的Vcom ring(在此,所述Vcom ring包括Vcom ring底层线2及Vcom ring顶层线3),当然,还包括与所述Vcom ring连接的、位于显示区内的Vcom线5,所述Vcom ring底层线2与数据信号线1的交叠处具有有源层4。当由于静电放电击穿使得所述Vcom ring底层线2与数据信号线1连通时,就需要执行激光隔离Vcom ring的短路区域。例如,数据信号线A与Vcom ring底层线2具有击穿区域6,数据信号线C与Vcom ring底层线2具有击穿区域7,则进行激光修复时,需要将Vcom ring底层线2及Vcom ring顶层线3与数据线信号的短路区域予以隔离。具体的,在所述数据信号线A两侧执行激光切割8,在所述数据信号线C两侧执行激光切割8,此时即可把击穿区域6及击穿区域7予以隔离。但,这样的修复同时带来了一个问题,即数据信号线A与数据信号线C之间的Vcom ring底层线2及Vcom ring顶层线3被断开了,从而使得与该部分Vcom ring连接的Vcom线5处于浮空状态,即无法为光电二极管提供有效的偏置电压,从而降低了平板型X射线图像传感器的性能。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种平板型X射线图像传感器,以解决现有技术中Vcom ring(Vcom环形回路)修复后出现浮空状态,从而无法为光电二极管提供有效的偏置电压,降低了平板型X射线图像传感器的性能的问题。

为解决上述技术问题,本实用新型提供一种平板型X射线图像传感器,所述平板型X射线图像传感器包括:

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