[实用新型]一种用于真空溅镀的靶材

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种靶材，尤其涉及一种用于真空溅镀的靶材。

背景技术

由于目前应用于真空溅镀作业的靶材需要成型到一定的大尺寸之后，再进行修整成所需尺寸的靶材，这样靶材的成本很高，而需要不同靶材的情况下，则需要两个靶材，这样才能达到所需的溅镀效果，那么如何制作一种真空溅镀的靶材，使之可以用一个靶材达到两个靶材所达到的效果，以节约大量成本，正是发明人要解决的问题。

发明内容

本实用新型解决了真空溅镀套色等制程中需要两块靶材的不足，用一块靶材即可达到两块靶材的效果。

其具体技术方案是：一种用于真空溅镀的靶材，所述靶材为金属靶A和金属靶B两两交错固定连接。

作为优选，所述金属靶A为铜靶，金属靶B为铝靶。 

作为优选，所述金属靶A为钛靶，金属靶B为银靶。 

作为优选，所述金属靶A为合金靶，金属靶B为合金靶。

本实用新型解决了真空溅镀需要两块靶材的成本浪费的问题，用一块靶材达到了两块靶材所达到的效果。 

附图说明

    图1 为本实用新型结构示意图。

具体实施方式

实施例1

下面结合图1对本实用新型实施例1作进一步详细描述：

一种用于真空溅镀的靶材，其特征在于，所述靶材为金属靶A1和金属靶B2两两交错固定连接。所述金属靶A1为铜靶，金属靶B2为铝靶。 

实施例2

下面结合图1对本实用新型实施例2作进一步详细描述：

一种用于真空溅镀的靶材，其特征在于，所述靶材为金属靶A1和金属靶B2两两交错固定连接。所述金属靶A1为钛靶，金属靶B2为银靶。 

实施例3

下面结合图1对本实用新型实施例3作进一步详细描述：

一种用于真空溅镀的靶材，其特征在于，所述靶材为金属靶A1和金属靶B2两两交错固定连接。所述金属靶A1为合金靶，金属靶B2为合金靶。