[实用新型]石英炉门

说明书

技术领域

本实用新型属于半导体和产工具领域，特别是涉及一种石英炉门。

背景技术

石英炉门是一种与石英管道配套使用，主要应用于光伏产业生产的关键工序，是高温扩散工艺过程中必不可少的配套工具。现有的石英炉门均采用实心或空心炉门。实心炉门造价高，所用石英材料量大，且重量大；空心炉门造价低，但由于空心炉门内空气加热内，易使石英炉门炸裂。

发明内容

针对上述领域中的缺陷，本发明涉及一种石英炉门，属空心炉门，其保温性能好，又不容易炸裂。

石英炉门，包括一石英盖板和固定于石英盖板一个板面上的石英把手，其特征在于：还包括一石英圈，所述石英圈的一端由石英盖板的另一板面封闭，且石英盖板的板面积大于石英圈的外圈面积，石英圈的另一端由石英底板封闭，所述石英圈内填充有石英棉，所述石英盖板上开有一通气孔。

所述石英盖板为圆形，所述石英盖板的半径大于石英圈的半径。

所述石英盖板、石英圈、和石英底板同中心对称。

所述石英把手包括一握把，和三个定位柱，所述三个定位柱的一端与握把固定，另一端与石英盖板相固定。

所述石英把手位于石英盖板的中央。

本实用新型的石英炉门为一空心的石英炉门，里面填充有石英棉，可以起到保温的作用，而通气孔的设计是为了防止空心的石英炉门内由于温度过高而引起的炸裂现象。由于石英盖板比石英外圈面积大，石英炉门的密封是依靠石英盖板的一个板面，而不是依靠石英外圈与石英管壁的配合密封，使得这个种密封方式更严密，保温性能更好。

优选石英盖板为圆形，更有利于加工生产，将石英盖板，石英圈，和石英底板同中心对称设计，可以使石英炉门重心稳定，不偏斜一侧。

本实用新型的石英炉门，密封性能好，保温效果好，且使用寿命长，不容易炸裂。

附图说明

图1本实用新型石英炉门的主视图，

图2本实用新型石英炉门的俯视图，

图中各标号列示如下：

1—石英盖板，2—石英圈，3—石英底板，4—握把，5—定位柱，6—通气孔，7—石英棉。

具体实施方式

如图所示，石英炉门包括

石英炉门，包括一石英盖板1、固定于石英盖板1一个板面上的石英把手、一石英圈2和石英底板3，所述石英圈2的一端由石英盖板1的另一板面封闭，且石英盖板1的板面积大于石英圈2的外圈面积，石英圈2的另一端由石英底板3封闭，所述石英圈2内填充有石英棉7，所述石英盖板1上开有一通气孔6。本实用新型的石英炉门为一空心的石英炉门，里面填充有石英棉7，可以起到保温的作用，而通气孔6的设计是为了防止空心的石英炉门内由于温度过高而引起的炸裂现象。由于石英盖板1比石英圈2外圈面积大，石英炉门的密封是依靠石英盖板1的一个板面，而不是依靠石英圈2与石英管壁的配合密封，使得这个种密封方式更严密，保温性能更好。

所述石英把手包括一握把4，和三个定位柱5，所述三个定位柱5的一端与握把4固定，另一端与石英盖板1相固定。

优选所述石英盖板为圆形，所述石英盖板的半径大于石英圈的半径；所述石英盖板、石英圈、和石英底板同中心对称，所述石英把手位于石英盖板的中央。这样更有利于加工生产，将石英盖板，石英圈，和石英底板同中心对称设计，可以使石英炉门重心稳定，不偏斜一侧。

本实用新型的石英炉门，密封性能好，保温效果好，且使用寿命长，不容易炸裂。