[实用新型]带锯机及其夹持装置有效

专利信息
申请号: 201220305562.3 申请日: 2012-06-27
公开(公告)号: CN202640584U 公开(公告)日: 2013-01-02
发明(设计)人: 郭博涛;郭钊;李双江;史伟 申请(专利权)人: 英利能源(中国)有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/04
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 魏晓波;郝鹏
地址: 071051 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 锯机 及其 夹持 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及光伏领域,特别涉及一种用于夹持单晶圆棒和多晶硅块的带锯机上的夹持装置。此外,本实用新型还涉及一种包括上述夹持装置的带锯机。 

背景技术

在硅片加工过程中,需要利用带锯机对单晶圆棒进行切断处理及对多晶硅块进行去头尾处理以切除尺寸不合格的部位,此后再进行切片处理。在对单晶圆棒和多晶硅进行切割处理前,都要利用带锯机上的夹持装置进行定位。 

由于单晶圆棒和多晶硅块的形状和尺寸不同,且切割工艺也存在一定的差异,需要使用不同的独立夹持装置进行定位,而目前所使用的带锯机上的夹持装置只能针对同一类硅块进行夹持,不具有通用性。因此,如果要利用同一带锯机依次对单晶圆棒和多晶硅块切割时,需要更换夹持装置,在更换过程中甚至需要拆卸底座,在一定程度上增加了更换难度和生产成本,同时每次更换夹持装置都需要重新调整夹持角度,否则容易导致切割精度降低,使得整个夹持切割过程较为繁琐,带锯机的使用效率不高,也增大了操作人员的劳动量。 

除此以外,在对单晶圆棒进行切割作业时,由于单晶圆棒在夹持中没有支撑点,且所使用的夹持装置的夹持位置和角度都是固定的,因此,在夹持时需要将单晶圆棒抬起进行定位,导致夹持过程投入的人力相对较大。 

因此,如何减少生产过程中的设备投入,降低生产成本,简化对单晶圆棒和多晶硅块的切割作业流程,提高带锯机的使用率是本领域技术人员需要解决的技术问题。 

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于带锯机的夹持装置,该夹持装置能够实现对单晶圆棒和多晶硅块的夹持定位,降低生产成本,提高 带锯机使用率。本实用新型的另一目的是提供一种包括上述夹持装置的带锯机。 

为实现上述目的,本实用新型提供一种用于带锯机的夹持装置,包括丝杠、与所述丝杠相配合的两组滑块以及用于带动所述丝杠旋转的转动件,两组所述滑块的进给方向相反,在每组所述滑块的上方通过可拆卸的定位装置固定连接有夹块装置,两组所述夹块装置对称设置,所述夹块装置包括用于夹持待切割单晶圆棒的单晶夹块以及与所述单晶夹块固定连接用于夹持待切割多晶硅块的多晶夹块,所述单晶夹块的夹持面与所述多晶夹块的夹持面背向设置。 

优选地,所述定位装置为紧固螺栓。 

优选地,所述多晶夹块的底部设置有平台,所述定位装置设置在所述平台上。 

优选地,所述滑块的上方固定连接有连接板,所述连接板通过定位装置与所述平台固定连接。 

优选地,所述夹持装置进一步包括用于支撑所述连接板的开口向上的底座,所述丝杠和所述滑块设置在所述底座中。 

优选地,所述单晶夹块和所述多晶夹块均为尼龙夹块,并在所述单晶夹块和所述多晶夹块之间固定连接有支撑块。 

优选地,所述支撑块与所述单晶夹块和所述多晶夹块均通过紧固螺栓固定连接。 

优选地,所述转动件为手轮,所述手轮固定连接在所述丝杠的一端。 

本实用新型还提供一种带锯机,包括工作台,所述工作台上设置有上述任意一项所述的夹持装置。 

在利用上述夹持装置对待切割硅块进行夹持作业时,首先通过旋转所述转动件调整两组所述夹块装置之间的距离,将待切割硅块放置在所述夹块装置之间,在对所述单晶圆棒进行夹持时,所述单晶夹块位于所述夹块装置的内侧,在对所述多晶硅块进行夹持时,所述多晶夹块位于所述夹块装置的内侧;旋转所述转动件,使两组所述滑块相 向移动,继而带动两组所述夹块装置相向移动,从而将待切割硅块夹紧,即可进行切割作业;在切割作业结束后,反向旋转所述转动件,使两组所述滑块和所述夹块装置均背向移动,从而所述夹块装置松开,便可将切割后的硅块取出,继续对其他硅块进行切割;在对另一类硅块进行夹持切割作业时,首先操作所述定位装置,以解除所述滑块和所述夹块装置之间的定位关系,将两组所述夹块装置均旋转180°,调换所述单晶夹块和所述多晶夹块的位置,再次操作所述定位装置,以固定所述滑块与所述夹块装置的相对位置关系;调整所述夹块装置之间的距离,将待切割的硅块放置在所述夹块装置之间,按照上述夹持操作方法即可将待切割硅块进行夹紧,继而进行切割作业;切割作业结束后,反向旋转所述转动件,将所述夹块装置松开,取出硅块,便完成整个夹持切割作业。 

本实用新型所提供的夹持装置实现了对单晶圆棒和多晶硅块的夹持作业,在对不同硅块进行夹持时,只需要操作所述定位装置,将所述夹块装置进行旋转适当角度即可实现,而不需要更换整个夹持装置,提高了带锯机的使用效率,降低了生产过程中的设备投入和操作人员的劳动量。 

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